Gebraucht VARIAN E11004390 #148167 zu verkaufen
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VARIAN E11004390 ist ein Ionenimplantator und -monitor, der für eine effiziente, zuverlässige und kostengünstige Materialimplantation und -überwachung entwickelt wurde. Diese Vorrichtung wird in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um präzise platzierte Muster und Strukturen auf Substraten wie Siliziumscheiben zu erzeugen. Ionenimplantation ist ein Prozess, bei dem Ionen auf hohem Energieniveau erzeugt und in Richtung Substrat beschleunigt werden. Während die Ionen mit den Atomen des Substrats kollidieren, sind sie in das Material eingebettet. Dieses Verfahren ermöglicht die Schaffung kleiner Merkmale, mit denen Bauelemente wie Transistoren und Widerstände gebildet werden können. E11004390 ist in der Lage, eine Vielzahl von Ionen zu implantieren, einschließlich Bor, Gallium, Arsen, Phosphor und Indium. Das Gerät umfasst eine softwaregesteuerte Ionenquelle, eine Beschleunigungssäule und eine Strahlabbildungsausrüstung. Die Ionenquelle erzeugt Ionen bei hohen Energien und die beschleunigende Säule beschleunigt die Ionen auf ein gewünschtes Niveau. Das Strahlabbildungssystem sorgt dafür, dass die Ionen korrekt auf den richtigen Bereich des Substrats ausgerichtet sind. VARIAN E11004390 ist mit einer erweiterten Steuereinheit ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung aller Prozessvariablen einschließlich Temperatur, Druck und Beschleunigung ermöglicht. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle des Ionenimplantationsprozesses. E11004390 umfasst auch eine Datenerfassungsmaschine, die Informationen auf bis zu sechs verschiedenen Substraten speichern kann. Diese Informationen können verwendet werden, um auf die Geräteleistung zuzugreifen und Prozesstrends im Laufe der Zeit zu verfolgen. Das Design des Geräts umfasst auch eine Reihe anderer Merkmale, die die Substratausbeute verbessern und zu einem Industriestandard geworden sind. Dazu gehören ein Ionenisolierungswerkzeug, um zu verhindern, dass unerwünschte Ionen in den Strahl gelangen, und ein vollständig abgedichtetes Gehäuse, um Komponenten vor Staub und Partikeln zu schützen. Insgesamt ist VARIAN E11004390 ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der speziell entwickelt wurde, um überlegenes Material zu implantieren und zu überwachen. Dieses Gerät bietet effiziente und kostengünstige Lösungen für die Halbleiterindustrie, und sein Leistungsspektrum sorgt dafür, dass seine Anwender Zugang zu den hochwertigsten verfügbaren Materialien und Technologien haben.
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