Gebraucht VARIAN E11034134 #9230309 zu verkaufen

VARIAN E11034134 ist ein Ionenimplantator und -monitor zum Transport von Ionen in ein Substratmaterial. Die Maschine besteht aus mehreren Komponenten, die zu einer kompletten Ausrüstung zusammenarbeiten. Dazu gehören die Ionenquelle, die Ionenstrahlleitung, das Primär- und Sekundärbeschleunigungssystem, die Energie- und Strahlstromregler, die Strahloptik, die Strahltransportsysteme, die Diagnose- und Messeinrichtung sowie die Endstation. Die Ionenquelle dient zur Erzeugung und zum Transport des Ionenstrahls. Es besteht aus einem Ionenstrahlgenerator, Ionenleiter und einem Extraktionssystem. Der Ionenstrahlgenerator erzeugt den Ionenstrahl durch Bombardieren entweder eines gasgefüllten Gehäuses, wie einer Ionenabscheidungskammer, oder eines festen Targetmaterials mit energiereichen Elektronen. Durch diese Bombardierung von Elektronen entstehen Ionen, die in einen Strahl extrahiert und fokussiert werden. Die Ionenstrahlleitung dient zum Sammeln und Transportieren des Ionenstrahls. Es besteht aus einer Reihe von Magneten, die den Strahl steuern und lenken, sowie Strahldiagnosesysteme, um die Eigenschaften des Strahls zu überwachen. Das primäre und sekundäre Beschleunigungssystem werden dann verwendet, um den Strahl auf die gewünschte Spannung und Energie zu bringen. Die Energie- und Strahlstromregler dienen auch zur Aufrechterhaltung der Energie- und Stromstärke des Ionenstrahls. Danach werden die Strahloptikkomponenten verwendet, um Form, Größe und Position des Ionenstrahls auf dem Substratmaterial zu steuern. Dies wird durch Anpassung der Fokus- und Defokusansätze erreicht. Sobald die Strahlform und -größe eingestellt sind, bewegen die Strahltransportsysteme dann den Strahl von der Ionenquelle zur Endstation. Die Strahltransportsysteme bestehen aus verschiedenen ionenoptischen Komponenten sowie Vakuumsystemen, die den Ionenstrahl nicht aus dem Gerät entweichen lassen. Die Diagnose- und Messgeräte werden dann verwendet, um die Eigenschaften des Strahls einschließlich seiner Spannung, Strom, Energie und Position zu messen. Schließlich ist die Endstation, wo der Strahl auf das Substratmaterial fokussiert wird, so dass eine Einschließung und Manipulation möglich ist. Insgesamt ist E11034134 Ionenimplantat- und Monitormaschine das komplette Paket für die Ionenimplantation. Es ist in der Lage, Ionenstrahlen beliebiger Energie, Strom und Spannung für ein beliebiges Substratmaterial zu erzeugen und zu transportieren. Das Werkzeug ist zudem mit verschiedenen Diagnose- und Überwachungskomponenten ausgestattet, die eine präzise Steuerung und Optimierung des Implantationsprozesses ermöglichen. Dieser Vermögenswert ist in der gesamten Branche und in der akademischen Forschung weit verbreitet.