Gebraucht VARIAN E11071400 #149060 zu verkaufen

VARIAN E11071400 ist ein industrieller Ionenimplantator und Monitor, der für den Betrieb in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es ermöglicht Benutzern, bis zu 10ions pro Quadratzentimeter in Siliziumscheiben abzulegen oder zu implantieren. Das Gerät verfügt über ein optimiertes Strahl- und Datenerfassungssystem, das es ermöglicht, die Dotierungskonzentration des Siliziumwafers während des Betriebs zu variieren. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Dotierstoffkonzentrationen und ermöglicht die Erzeugung optisch überlegener Halbleitermaterialien. E11071400 besteht aus zwei Hauptkomponenten: einem Großrechner und einer Beamline. Das Mainframe beherbergt die Ionenquelle und den Monitor, die Ionenstrahlsteuereinheit und die Datenerfassungsmaschine. Die Ionenvorabscheidekammer und die Targeting-Scan-Plattform sind ebenfalls im Tool enthalten. Die Strahllinie dient zur Übertragung der Ionen von der Quelle auf die Zieloberfläche. Es besteht aus einem Ionenmoderator, einer Massenanalyse, einem ionenoptischen Modell und einer Beschleunigungs-/Verzögerungskomponente. Die integrierte Datenerfassungseinrichtung ermöglicht es Anwendern, die Dotierstoffkonzentrationen in den Wafern zu überwachen und zu steuern und die Entwicklung der Wafereigenschaften während der Implantation zu verfolgen. Dadurch wurde die Möglichkeit der Beschädigung des Wafers während der Verarbeitung erheblich reduziert. Das System verfügt auch über eine einstellbare Strahlfleckengröße, so dass der Benutzer die Fläche der Implantation zu reduzieren. Dies trägt dazu bei, die Kontamination von Material in benachbarten Wafern zu minimieren. VARIAN E11071400 ist mit einer Reihe von Sicherheitssystemen zum Schutz der Implantat- und Überwachungsoperationen ausgestattet. Dazu gehören eine mechanische Verriegelungseinheit zur Vermeidung einer unbeabsichtigten Belichtung, eine Sicherheitsabschaltmaschine bei geöffneter Vorabschaltkammer und ein Notstoppmerkmal. Das Hochgeschwindigkeits-Datenerfassungstool zeichnet Implantationsdaten schnell und genau auf und ist für den Betrieb mit mehreren Fenstern konzipiert, sodass der Benutzer schnell und einfach auf eine Vielzahl von Daten zugreifen kann. Das Asset bietet auch eine vollständige Palette von Datenvisualisierungstools, die dem Benutzer helfen, den Implantationsprozess zu verstehen. Insgesamt ist E11071400 Ionenimplantierer und -monitor ein zuverlässiges Hochleistungsmodell, das in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen eingesetzt werden kann. Es bietet unübertroffene Ionenstrahlsteuerung, präzise Implantationskontrolle und eine Fülle von Sicherheitsmerkmalen, so dass es eine ideale Wahl für fortgeschrittene Hersteller.