Gebraucht VARIAN E11117551 #293639520 zu verkaufen
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VARIAN E11117551 ist ein innovativer Ionenimplantierer und -monitor für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist in der Lage, präzise kontrollierte, gleichmäßige und wiederholbare Implantationsbedingungen für eine Vielzahl von Anwendungen bereitzustellen. E11117551 können für jeden Implantationsprozess und Beladungsparameter angepasst werden, wodurch es Flexibilität für verschiedene Materialimplantate gibt. Es ist für die mittlere und hohe Dosisimplantation konzipiert und bietet eine hohe Genauigkeit für die Strom- und Dosiskontrolle. Das Gerät verwendet eine 5 MHz 50 kHz selbst angeregte nanopulste Elektronenquelle, um die genaue erforderliche Dosis zu erhalten, Ströme können von 0,7 bis 10.000 μ A und Energien von 3 bis 100 keV reichen. Das Klemmen von Implantatparametern wird durch die enge Überwachung und Präzisionssteuerung von Strahlstrom, Strahlspreizung und Strahlfleckgröße erreicht. VARIAN E11117551 verfügt über eine leistungsstarke Vakuumkammer mit zweistufigem flüssigem Stickstoff zweistufiger Kryopumpe, die eine schnelle Spülung der Kammer ermöglicht. Es ist auch mit einem Lastverschluss ausgestattet, so dass eine schnelle und einfache Beladung der Probe unter Beibehaltung einer saubereren, frei von Kontamination Umgebung. Das Gerät hat die Fähigkeit, seine Leistung bei schweren Belastungen durch Überwachung der Chiprate, des Strahlstroms, der Dosisverteilung und der Gesamtdosis der Ionen aufrechtzuerhalten. Interlock-Sicherheitsfunktionen sorgen für ordnungsgemäße Sicherheitsoperationen und ein Diagnosemonitor ermöglicht eine Echtzeitdiagnose. E11117551 ist für wiederholbare, zuverlässige Leistung mit einer maximalen Latenz von 0,5 ausgelegt. Bediener können die Röntgenposition mit ihrem Echtzeit-Röntgenmonitor überwachen. Es ermöglicht auch die Chip-Rate-Kontrolle, mit einem festgelegten Prozentsatz der Operationen pro Sekunde Strahlstrom und Dosis zu messen. Dies verhindert Dosisaufbau bei der Implantation, bietet wiederholbare und gleichmäßige Dosen. Das Gerät enthält alle notwendigen Schutzmechanismen für Strahlensicherheit und Schutz für Personal und Ausrüstung, so dass ein sicherer Einsatz in industriellen Umgebungen möglich ist. Seine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche macht die Bedienung von VARIAN E11117551 einfach und ermöglicht es dem Bediener, Implantationssitzungen zu überwachen, anzupassen und durchzuführen, während er klar und prägnant bleibt. E11117551 verfügt über ein breites Spektrum an Merkmalen, die es in der Halbleiterindustrie hervorheben. Von der Präzisionskontrolle und Dosismessung bis zu den Sicherheitsmerkmalen und dem ultimativen Schutz bietet VARIAN E11117551 einen zuverlässigen und leistungsstarken Betrieb für alle Ihre Anforderungen an die Halbleiterimplantation.
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