Gebraucht VARIAN E19002370B #149061 zu verkaufen

VARIAN E19002370B ist ein Ionenimplantator und Monitor, der bei der Herstellung von Prozesshalbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug mit mehreren Funktionen, die eine präzise Einstellung, Überwachung und Steuerung des Ionenimplantationsprozesses ermöglichen. Die Hauptkomponenten der Einheit bestehen aus einem HF-Generator, einer Ionenquelle, einer Beamline, einer Optik, einer Abtasteinrichtung und einer Umgebungssteuereinheit (ECU). Der Hochspannungsgenerator liefert die Energie, die benötigt wird, um Ionen zu beschleunigen, wenn sie die Strahlungsleitung hinunter fahren. Die Ionenquelle, die sich am Ende der Strahllinie befindet, soll einen Ionenstrahl mit der gewünschten Energie und Dosis erzeugen. Das aus Bewegungsstufe und Steuerelektronik bestehende Scan-System dient zur Steuerung der Strahlablenkung und -position. Die Optik wird verwendet, um die Strahlform zu optimieren, bevor sie in das Substrat eintritt. Schließlich hält die Umgebungssteuereinheit die Prozesstemperatur und den Druck während der Implantation aufrecht. E19002370B ist zudem mit einer Überwachungs- und Steuereinheit ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, alle Parameter während des Implantationsprozesses exakt einzustellen. Es ermöglicht ihnen, die Energie des Strahls, den Gasdruck, die Dosisrate und die Abtastzeit einzustellen. Ferner kann die Maschine programmiert werden, diese Parameter in Abhängigkeit von der Art des zu implodierenden Substrats einzustellen. Das Gerät verfügt außerdem über ein Multiparameter-Überwachungswerkzeug, um eine erfolgreiche Implantation zu gewährleisten und detaillierte Informationen über den Prozess bereitzustellen. Dieses Asset erfasst und zeigt verschiedene Parameter wie Stromdichte, Dosis, Wandstrom, Strahlstrom und Strahlenergie an. Darüber hinaus kann die Einheit fernbedient werden, um mehrere Implantate gleichzeitig durchführen zu können. VARIAN E19002370B ist ein leistungsstarkes und präzises Implantat- und Überwachungswerkzeug, das alle Arten von Siliziumwafern handhaben kann. Durch eine präzise Steuerung und Überwachung des Implantationsprozesses gewährleistet es höchste Qualität in allen Halbleiterbauelementen.