Gebraucht VARIAN E19002442-2 #140342 zu verkaufen
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ID: 140342
Weinlese: 2000
EX Power supply
Includes E19002446-2 noise filter
Power rating: 208VAC, 3-phase input / 80kV at 100MA
2000 vintage.
VARIAN E19002442-2 ist ein hochmodernes Ionenimplantat- und Monitorsystem, das Implantationen und andere damit zusammenhängende Prozesse mit hoher Präzision und Genauigkeit durchführen kann. Es besteht aus einem Source-Injektor, Source-Extraktor, Partikelstrahlmonitor, Substrathalter, einer Ellbogenkammer, einem Low-Energy-Strahlentransport, einem Strahlschrittmonitor und einem Energiewähler, die alle vom zentralen Bedienfeld gesteuert werden. Der Source-Injektor dient zur Injektion von Ionen in den Strahl. Es besteht aus einem Filament und einer Elektrode. Das Filament dient dazu, die positiven Ionen zu erzeugen und in die Elektrode zu leiten, die zur Variation der Strahlintensität eingestellt werden kann. Der Quellenextraktor hilft, Ionen aus dem Strahl genau zu extrahieren und unerwünschte Partikel herauszufiltern. Der Partikelstrahlmonitor lenkt die Ionen an gewünschte Positionen und der Substrathalter hält das Substrat während der Implantation in den richtigen Positionen. Die Ellbogenkammer ist die Hauptkammer des Systems mit einer drehbaren Kammer, die eine präzise Handhabung des Strahls unter Aufrechterhaltung eines Fernstrahlstroms ermöglicht. Der Low-Energy-Strahltransport ist ein Strahltransportsystem, das eingestellt werden kann, um die Strahlwinkel und Einfallswinkel zu lenken und zu steuern. Der Energieselektor ist ein Energiekalibrator, mit dem die Energie der implantierten Ionen genau eingestellt wird. Schließlich wird die Dosisabscheidungsrate der Ionenimplantation mit Hilfe des Strahlstufenmonitors gemessen. Alle diese Komponenten sind zur vollständigen Steuerung des Ionenimplantierers mit dem zentralen Bedienfeld verbunden. E19002442-2 eignet sich perfekt für eine Reihe von Implantationsprozessen, von niedrigen bis zu hohen Energieniveaus, von niedrigen bis zu hohen Dosen und von niedrigen bis zu hohen Temperaturen. Es ist zuverlässig und einfach zu bedienen, so dass eine perfekte Wahl für eine effiziente und präzise Ionenimplantation.
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