Gebraucht VARIAN E19002442-2 #9037843 zu verkaufen

VARIAN E19002442-2 ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor, der für die präzise Implantation von Ionen in Materialien für zahlreiche Anwendungen in der Halbleiter- und Mikrofabrikationsindustrie entwickelt wurde. Es handelt sich um ein automatisiertes Gerät auf Basis einer Feldemissions-Ionenquelle und einer Inline-Strahllinie mit vier voll programmierbaren Analyse- und Simulationskammern. Der Implantationsprozess wird elektronisch gesteuert, was eine präzise Implantation ausgewählter Ionen ohne manuellen Eingriff ermöglicht. E19002442-2 ist mit einer hochauflösenden Ionenoptik ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Ionenstrahls während der Implantation ermöglicht und gewährleistet, dass die Ionen genau auf die Zieltiefe implantiert werden. Es verfügt auch über eine Inline-Strahllinie, die zur Überwachung des Ionenimplantationsprozesses verwendet wird. Dazu gehören ein Spektrometer, ein Kollisionsfilter und Detektoren, die die Strahlparameter messen und eine automatisierte Analyse und Rückkopplung während der Implantation ermöglichen. VARIAN E19002442-2 ist in der Lage, eine Vielzahl von Elementen und Cocktails zu implantieren, die zwischen 1 und 8 Elemente enthalten. Es kann eine breite Palette von Implantationsenergien im Bereich von 0-4 keV produzieren und Dosen von 1 × 1015 bis 5 × 1018 pro cm2 pro Sekunde produzieren. Es verfügt auch über ein gut konzipiertes Sicherheitssystem mit einem E-PROM, das alle Betriebsparameter vorher speichert und zusätzliche Schutzmechanismen aufweist, um Störungen zu vermeiden. E19002442-2 bietet hochpräzise Ionenimplantation mit gleichmäßiger Dosisverteilung, Niederspannungsbeschleunigung, genauer Strahlabtastung und hoher Genauigkeit im Strahlstrom. Das Gerät kann in der Forschung und Entwicklung von siliziumimplantierten Substraten sowie zur Herstellung von Wafern im Bereich MEMS und Mikrolithographie eingesetzt werden. Es wird auch in der Massenproduktion von Chips in der VLSI- und ULSI-Mikroelektronik eingesetzt. VARIAN E19002442-2 bietet dank seiner leistungsstarken digitalen Systeme einen verbesserten Durchsatz im Vergleich zu den Industriestandard-Implantierern. Es wird derzeit weltweit in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, die eine hochpräzise Ionenimplantation erfordern, einschließlich der Herstellung hochwertiger integrierter Schaltungen, Halbleiterscheiben und anderer Mikrofabrikationsmaterialien.