Gebraucht VARIAN E19013590 #148786 zu verkaufen

VARIAN E19013590 ist ein hochmoderner Ionenimplantierer und -monitor für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es kombiniert ausgefeilte Ionenimplantations- und Überwachungstechnologien, um einen kostengünstigen und leistungsstarken Betrieb in einer Vielzahl von Anwendungen zu ermöglichen. Die Ausrüstung verwertet einen neuen alles in einem Balkenpunktüberwachungstechnologie, die das Balkendiameter in Realtime messen kann, zuverlässige, repeatable Ergebnisse bietend. Das System ist mit einem 1000x1000mm Scanbereich und einer 500mm Waferstufe ausgestattet, die für eine Vielzahl von Gerätelayouts und Bearbeitungszeiten geeignet ist. Es besteht aus einer 400mm Low-Energy-Ionenquelle, die verwendet wird, um den Strahl der gewünschten Ionen zu erzeugen, einem optischen Filter und einem Strahlmonitor, um optimale Strahlintensität, Spreizung und Übertragung zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine integrierte Prozesssteuereinheit mit einer Rückkopplungsschleife, die es Anwendern ermöglicht, Prozessparameter während der Implantation anzupassen. Die Prozesssteuerungsmaschine enthält auch eine Reihe von voreingestellten Vorlagen, die an die spezifischen Prozessanforderungen der Benutzer angepasst werden können. E19013590 wurde entwickelt, um eine optimierte Qualität und Durchsatz in mittel- bis hochdosierten Ionenimplantaten zu bieten. Es ist in der Lage, eine Strahldosisrate von 0,1 bis 10keV mit einer maximalen Strahlenergie von 400keV zu erzeugen. Das Werkzeug ist in der Lage, bis zu 20 Schichten gleichzeitig mit exakter Strahldosisregelung und hochenergetischem Pulsmodus bis zu 50 Puls pro Sekunde zu dotieren. Es verfügt auch über eine Reihe von Probe Unterstützung Adapter für die Implantation von verschiedenen Proben Größen und Materialien. Darüber hinaus ist das Gerät mit seinem integrierten Verriegelungsmechanismus, der eine versehentliche Ionenimplantation verhindert, sowie einem erzwungenen Ausblenden des Trägers bei Auftreten eines Hindernisses auf hohe Zuverlässigkeit und Sicherheit ausgelegt. Es umfasst auch kontinuierlich überwachte Anodentemperatur, digitale Strahlmonitore und CPU-Temperaturüberwachungssysteme, die einen sicheren und zuverlässigen Betrieb gewährleisten. Darüber hinaus entspricht das Modell den neuesten Sicherheitsstandards, darunter CE, ISO 13485 und RoHS. Insgesamt ist VARIAN E19013590 ein anspruchsvoller, leistungsstarker Ionen-Implantierer und -Monitor, der Anwendern eine kosteneffiziente und zuverlässige Lösung für Halbleiterbauelement-Fertigungsprozesse bietet. Seine modernsten Technologien und Sicherheitsmerkmale sorgen für zuverlässigen Betrieb und Qualitätsergebnisse beim Implantieren einer breiten Palette von Materialien.