Gebraucht VARIAN E19013590 #9070880 zu verkaufen

ID: 9070880
Graphite air bearing for Viista 810exp.
VARIAN E19013590 ist ein Ionenimplantator und Monitor zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist in der Halbleiterindustrie wegen seiner hohen Genauigkeit, zuverlässigen Leistung und niedrigen Betriebskosten weit verbreitet. Es ist bekannt für seine Fähigkeit, Dotierstoffe mit hoher Tiefenkontrolle zu implantieren. E19013590 Ausrüstung besteht aus einem Ionenimplantierer, einem Strahlverzögerer, einer Monitorkammer und einem Satz von Manipulatoren. Der Ionenimplantator ist ein Hochstrom-Ionenimplantator mit niedriger Energie. Es ist in der Lage, Dotierstoffe in einstellbaren Tiefen von einigen hundert Angströmen bis zu einigen tausend Angströmen zu implantieren. Der Strahlverzögerer wird verwendet, um die Ionen aus dem Ionenimplantator zu verlangsamen, so dass eine beeindruckendere Steuerung auch bei niedrigerer Energie zur Verfügung steht. Die Monitorkammer ermöglicht die Messung der konditionierten Ionen während des Betriebs, so dass die Prozessbedingungen auf Wunsch eingestellt werden können. VARIAN E19013590 verfügt über Präzisionsmanipulatoren, die eine präzise Steuerung des Wafers während der Implantation ermöglichen. Es hat auch ein optionales elektrostatisches Spannfutter, um zusätzlichen Schutz und Positionsgenauigkeit zu bieten. Das System ist in der Lage, eine gleichmäßige Dosisverteilung und eine ausgezeichnete Tiefenkontrolle zu gewährleisten. Die Dosisrate ist einstellbar und reicht von 0,5 bis 50 dpa/s. Das Gerät ist mit einer breiten Palette von Vakuum- und Sicherheitsverriegelungen sowie einer fortschrittlichen Diagnoseüberwachungsmaschine ausgestattet. Sie kann alle Komponenten im Werkzeug jederzeit überwachen, so dass potenzielle Gefahren erkannt und vermieden werden können. Darüber hinaus kommt diese Ressource mit einer Vielzahl von Zubehör, wie verschiedene Quellen, Fensterläden, und Elektroden-Baugruppen. Es bietet auch eine direkte Schnittstelle zu angeschlossenen Gasquellen, so dass schnelle Quellenänderungen möglich sind. Das Modell kann aus der Ferne abgestimmt werden, wobei alle erforderlichen Anpassungen über den Computer vorgenommen werden. Insgesamt bietet E19013590 Ionenimplantator und Monitor eine genaue, zuverlässige und wirtschaftliche Halbleiterbauelementherstellung. Es ist mit einer Reihe von Sicherheitsverriegelungen und Diagnoseüberwachung ausgestattet, und sein ausgeklügeltes Zubehör macht es zu einem leistungsstarken Werkzeug für die Implantation.
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