Gebraucht VARIAN E220 / E500 #293767838 zu verkaufen

VARIAN E220/ E500 Ionenimplantator und Monitor ist ein leistungsstarkes, multifunktionales Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird, um eine gleichmäßige Dotierung der Waferoberflächen zu erreichen. Die E220 und E500 Modelle sind sowohl in der Lage, Ionen bei bis zu 250kV zu implantieren als auch eine Temperaturregelung von -55 ° C bis 150 ° C zu gewährleisten. Das Gerät ermöglicht die Auswahl verschiedener Strahlstrom-, Intensitäts- und Energiebereiche und verfügt über eine fortschrittliche Strahlkontrollausrüstung und einen digitalen Systemdetektor, der schnelle und genaue Strahlabstimmfähigkeiten bietet. Die Temperatur wird mit einem fortgeschrittenen Thermoelement-Design gemessen. E220/ E500 Einheit ist mit einem Ionenquellenschacht und Pistole, Vakuum PFC, Gasmischkammer und Beamline Collimators ausgestattet. Der Ionenquellenschacht und die Pistole ermöglichen die Auswahl von bis zu drei Ionenquellen und sorgen für einstellbaren Strahlstrom, Energie und Impulsabstand. Das Vakuum PFC hält ein konsistentes Vakuum in der Anlage aufrecht, während die Gasmischkammer die Einführung von Additiven in die Maschine ermöglicht. Die Beamline Collimators ermöglichen es dem Benutzer, den Balkenwinkel und die Form genau auszuwählen. Die E220 und E500 Modelle verfügen auch über eine Reihe von Monitoren, um die Stabilität des Werkzeugs zu gewährleisten und die Implantationstiefen zu verfolgen. Die Systeme verfügen über einen Ionenstrommonitor, einen integrierten Ionenmonitor und einen Ionenprofilmonitor. Der Ionenstrommonitor wird verwendet, um den gesamten Ionenstrom und Strahlstrom zu messen, während der integrierte Ionenstrommonitor Messungen des mittleren Ionenstroms ermöglicht. Der Ionenprofilmonitor misst das Profil der implantierten Ionen. VARIAN E220/ E500 ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Sicherheit des Bedieners und der Ausrüstung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Schlüsselschloss, integrierter mechanischer Türverriegelungsschalter, Vakuumdeckelanzeiger, Leistungsalarme und Notstoppfunktionen. Insgesamt ist E220/ E500 ein leistungsstarkes, multifunktionales Werkzeug, das für eine gleichmäßige Dotierung von Waferoberflächen unerlässlich ist. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine zuverlässige und stabile Umgebung bietet, während die verschiedenen Monitore und Sicherheitsmerkmale dafür sorgen, dass das Werkzeug unter sicheren und optimalen Bedingungen betrieben wird.