Gebraucht VARIAN E220 #9069279 zu verkaufen

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ID: 9069279
Weinlese: 1999
Ion implanter Soft Ver. Ver 12.2 Gas Box HP Gas Box Auto Decel YES Scan Post Scan Chamber Scan Generator TERK Power Supply Wafer Size 8 Inch Wafer Clamp ESC Cryo Pump Chamber - CTI Load Lock Pump CTI Cryo Pump(CT250F) Compressor 8500 Wafer Handler Standard Type Main Monitor LCD Exhaust Box Standard Roplat Cable Standard Type Source Head Bernas Turbo Pumps: Ion Source: Pfeiffer TMH101P Analyzer: Pfeiffer TMH260 Beamline: Pfeiffer TPS301 Dry Pump: Ion Source: Edwards iQDP80 Stage: Edwards iQDP40 + QMB250 Load Lock: Edwards iQDP80 Bas Bottle #1 PH3 - SDS Bas Bottle #2 AsH3 - SDS Bas Bottle #3 BF3 - High Pressure Bas Bottle #4 Ar - High Pressure Gas Interlock: Leak Current Exhaust Gas 2nd High Pressure Currently warehoused 1999 vintage.
VARIAN E220 ist ein Ionenimplantator und Monitorgerät, das eine hochgenaue Ionenimplantation bietet, um eine Vielzahl von Implantatprofilen für Wafer und Substrate zu erstellen. VARIAN E-220 wurde entwickelt, um eine gleichbleibend zuverlässige Leistung zu bieten und ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen und Substraten zu handhaben. Das System verfügt über eine Ionenquelle bestehend aus einer Lanthanhexaborid (LaB6) Pistole mit verlängerter Lebensdauer. Die Pistole ist in einer Vakuumkammer aufgehängt und wird mit computergesteuerten Strom- und Netzverstellern betrieben, um optimale Ionenimplantationsbedingungen zu erreichen. Das Gerät umfasst auch Ionenimplantationsüberwachungs- und Steuerungskomponenten wie Interlocks, Drucksensoren und einen digitalen Stromzähler, um eine genaue und wiederholbare Implantation zu gewährleisten. E 220 ermöglicht eine präzise Kontrolle der implantierten Dosisrate und Analytgröße und garantiert eine effiziente und genaue Implantation. Die Maschine ermöglicht bis zu 10 unabhängige Kammern, die Implantationsprofile von 0,0005 Zoll bis 0,8 Zoll dick aufbringen können. VARIAN E 220 verwendet Hochspannungs-Präzisionsgeräte für die Injektion und Extraktion der Ionenarten, was zu einer hohen Ionengleichmäßigkeit und einer sehr geringen Ionenimplantationsenergieausbreitung führt. E220 verfügt auch über viele Sicherheitsverriegelungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, einen reduzierten Kammerdruck im Falle einer Entstehung, eine Notabschaltung bei Stromausfall und ein Kammerverriegelungswerkzeug, das ein versehentliches Öffnen von Türen oder Fenstern erkennt. Die Anlage verfügt auch über Partikeldetektoren, um Betreiber auf gefährliche, in der Luft befindliche Verunreinigungen aufmerksam zu machen. Das Modell bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche und eine breite Palette von Alarmen für Benutzerfreundlichkeit und Schutz, einschließlich Statusalarme, Stromalarme, Laufendwarnungen, Kammeralarme, Ausstattungsfehleralarme und Sequenzalarme. All diese Alarme sorgen für einen sicheren und erfolgreichen Implantationsprozess. E-220 bietet ein ausgezeichnetes Maß an Kontrolle und Genauigkeit bei gleichzeitig ausgezeichneter Benutzerfreundlichkeit und Sicherheit. Das System bietet eine präzise, wiederholbare Implantation und ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen und Substraten zu handhaben. Das Gerät ist auch in der Lage, langlebige Komponenten, eine präzise Implantationskontrolle und eine Vielzahl von Sicherheitsverriegelungen bereitzustellen. Dadurch erhält der Anwender eine zuverlässige und sichere Implantiermaschine.
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