Gebraucht VARIAN E220 #9069279 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9069279
Weinlese: 1999
Ion implanter
Soft Ver. Ver 12.2
Gas Box HP Gas Box
Auto Decel YES
Scan Post Scan Chamber
Scan Generator TERK Power Supply
Wafer Size 8 Inch
Wafer Clamp ESC
Cryo Pump Chamber - CTI
Load Lock Pump CTI Cryo Pump(CT250F)
Compressor 8500
Wafer Handler Standard Type
Main Monitor LCD
Exhaust Box Standard
Roplat Cable Standard Type
Source Head Bernas
Turbo Pumps:
Ion Source: Pfeiffer TMH101P
Analyzer: Pfeiffer TMH260
Beamline: Pfeiffer TPS301
Dry Pump:
Ion Source: Edwards iQDP80
Stage: Edwards iQDP40 + QMB250
Load Lock: Edwards iQDP80
Bas Bottle #1 PH3 - SDS
Bas Bottle #2 AsH3 - SDS
Bas Bottle #3 BF3 - High Pressure
Bas Bottle #4 Ar - High Pressure
Gas Interlock:
Leak Current
Exhaust
Gas 2nd High Pressure
Currently warehoused
1999 vintage.
VARIAN E220 ist ein Ionenimplantator und Monitorgerät, das eine hochgenaue Ionenimplantation bietet, um eine Vielzahl von Implantatprofilen für Wafer und Substrate zu erstellen. VARIAN E-220 wurde entwickelt, um eine gleichbleibend zuverlässige Leistung zu bieten und ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen und Substraten zu handhaben. Das System verfügt über eine Ionenquelle bestehend aus einer Lanthanhexaborid (LaB6) Pistole mit verlängerter Lebensdauer. Die Pistole ist in einer Vakuumkammer aufgehängt und wird mit computergesteuerten Strom- und Netzverstellern betrieben, um optimale Ionenimplantationsbedingungen zu erreichen. Das Gerät umfasst auch Ionenimplantationsüberwachungs- und Steuerungskomponenten wie Interlocks, Drucksensoren und einen digitalen Stromzähler, um eine genaue und wiederholbare Implantation zu gewährleisten. E 220 ermöglicht eine präzise Kontrolle der implantierten Dosisrate und Analytgröße und garantiert eine effiziente und genaue Implantation. Die Maschine ermöglicht bis zu 10 unabhängige Kammern, die Implantationsprofile von 0,0005 Zoll bis 0,8 Zoll dick aufbringen können. VARIAN E 220 verwendet Hochspannungs-Präzisionsgeräte für die Injektion und Extraktion der Ionenarten, was zu einer hohen Ionengleichmäßigkeit und einer sehr geringen Ionenimplantationsenergieausbreitung führt. E220 verfügt auch über viele Sicherheitsverriegelungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, einen reduzierten Kammerdruck im Falle einer Entstehung, eine Notabschaltung bei Stromausfall und ein Kammerverriegelungswerkzeug, das ein versehentliches Öffnen von Türen oder Fenstern erkennt. Die Anlage verfügt auch über Partikeldetektoren, um Betreiber auf gefährliche, in der Luft befindliche Verunreinigungen aufmerksam zu machen. Das Modell bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche und eine breite Palette von Alarmen für Benutzerfreundlichkeit und Schutz, einschließlich Statusalarme, Stromalarme, Laufendwarnungen, Kammeralarme, Ausstattungsfehleralarme und Sequenzalarme. All diese Alarme sorgen für einen sicheren und erfolgreichen Implantationsprozess. E-220 bietet ein ausgezeichnetes Maß an Kontrolle und Genauigkeit bei gleichzeitig ausgezeichneter Benutzerfreundlichkeit und Sicherheit. Das System bietet eine präzise, wiederholbare Implantation und ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen und Substraten zu handhaben. Das Gerät ist auch in der Lage, langlebige Komponenten, eine präzise Implantationskontrolle und eine Vielzahl von Sicherheitsverriegelungen bereitzustellen. Dadurch erhält der Anwender eine zuverlässige und sichere Implantiermaschine.
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