Gebraucht VARIAN E220 #9230245 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 9230245
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Medium current ion implanter, 6" Signal tower Production wafer: (2) Wafers (P.P+ type) Platen type: M-clamp Loadlock: Left & right (P.P+ type) CVCF Option: Interlock System vacuum: Ion source chamber: 1.1E-6T Beamline chamber: 8.5E-7T, 4.2E-7 End station chamber: 1.8E-7 Pumps: Terminal: Dry pump Turbo pump Controller E/S Chamber: Dry pump Dry pump / Booster pump Cryo pump L/L Cryo Make / Model / Description EBARA / 40x20 / Terminal dry LEYBOLD / Mag W 1300 / Source TMP LEYBOLD / Mag Drive / Source TMPC PFEIFFER / - / Resol. TMP PFEIFFER / - / Resol. TMPC PFEIFFER / TMH 520 IS / Beamline TMP PFEIFFER / - / Beamline TMPC CTI / Cryotorr / End station C/P GEN 1 CRYOPUMP 4F / - / Left loadlock GEN 1 CRYOPUMP 4F / - / Right loadlock EBARA / 40x20 / End station dry CTI / 9600 / Cryo compressor Process gas: High pressure: AsH3 PH3 Ar(N2) BF3: SDS X2 High voltage range: Extraction power supply: 0 keV~40 keV Acceleration power supply: 0 keV~180 keV Power supplies (Assembly): Arc: 300VDC, 15A Filament: 7.5VDC, 200A Source magnet: 20V, 50A Extraction: 40kV (Max:75kV), 50mA Extraction suppression: -2kV, 50mA Analyzer magnet: 40V, 125A (Max:150A) Mirror power supply: 30kV, 2.5mA Quadrupole magnet #1: 20V, 50A Quadrupole magnet #2: 20V, 50A Scan generator: -30kV, 10mA Crucible (Vaporizer) power supply: 60kV, 1.2mA Dipole lens magnet: 40V, 125A (Max:150A) Acceleration: 180kV, 5mA (-> 8mA) Acceleration suppression: -5kV, 5mA Controller (Assembly): Left arm servo Right arm servo Vacuum gauge Scan faraday Platen tilt servo Vertical lift orienter Uniformity Liner motor servo amp Orienter Left elevator Right elevator Dose integrator DI Temp monitor Options: Gas box type: 2-High pressure bottle, 2-SDS Insert Source type: Bernas no vaporizer Utilities: Power: 208 VAC, 3-Phase, 5-wires, 45 kVA, 120 FLA Air: 100~150 PSI N2: 40~150 PSI Cooling water: 60~150 PSI, temp: 4~21°C 1994 vintage.
VARIAN E220 ist ein hochmoderner Ionenimplantatmonitor, der für die technische Dünnschichtproduktion in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Dieses Gerät verwendet eine selbstkorrigierende Methode, um eine präzise Ionenplatzierung zu gewährleisten, während die Dosierungsvariation während des gesamten Prozesses überwacht wird. VARIAN E-220 verwendet drei Komponenten, die eine Ionenquelle, eine Implantatkammer und einen Dosierungsmonitor umfassen. Mit der Ionenquelle werden Ionen in einem Strahl zur Probe hin beschleunigt. Die Implantatkammer beherbergt die Probe und induziert ein elektrisches Feld, um auf die Ionen beim Durchgang durch die Kammer einzuwirken. Dieses elektrische Feld bestimmt die Energie und Richtung der Ionen, was für präzise technische Dünnschichten wesentlich ist. Der Dosismonitor wird verwendet, um sicherzustellen, dass die Dosierung der Ionen kontrolliert und überwacht wird, um sicherzustellen, dass sie den gewünschten Wert für den Prozess nicht überschreitet. E 220 enthält eine Stromversorgung zur Regelung des Spannungspegels des Ionenstrahls sowie eine Reihe von Sensoren, die die Leistung, Position und Intensität des Strahls überwachen. Das System ist auch mit einer Vorrichtung ausgestattet, die die Ausbreitung von Partikeln reguliert, so dass nur solche innerhalb eines bestimmten Bereichs durchlaufen werden können. Dadurch wird sichergestellt, dass die dabei eingesetzten Partikel innerhalb der gewünschten Parameter für die Dünnschichtherstellung liegen. Schließlich ist VARIAN E 220 mit einer fortschrittlichen intelligenten Steuereinheit konzipiert, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Auf diese Weise kann der Bediener die gewünschten Parameter für die Dünnschichtproduktion einfach einstellen und den Prozess genau überwachen, ohne die Werte manuell einstellen zu müssen. Insgesamt ist E220 dank seiner präzisen Steuerung der Ionenplatzierung und -dosierung, der fortschrittlichen Steuerungsmaschine und des Sensorarrays ein effektives und zuverlässiges Werkzeug für die konstruierte Dünnschichtproduktion. Mit diesem Werkzeug können Hersteller dünne Folien mit minimalem Aufwand präzise entwickeln.
Es liegen noch keine Bewertungen vor