Gebraucht VARIAN E220 #9230245 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9230245
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Medium current ion implanter, 6"
Signal tower
Production wafer: (2) Wafers (P.P+ type)
Platen type: M-clamp
Loadlock: Left & right (P.P+ type)
CVCF Option: Interlock
System vacuum:
Ion source chamber: 1.1E-6T
Beamline chamber: 8.5E-7T, 4.2E-7
End station chamber: 1.8E-7
Pumps:
Terminal:
Dry pump
Turbo pump
Controller
E/S Chamber:
Dry pump
Dry pump / Booster pump
Cryo pump
L/L Cryo
Make / Model / Description
EBARA / 40x20 / Terminal dry
LEYBOLD / Mag W 1300 / Source TMP
LEYBOLD / Mag Drive / Source TMPC
PFEIFFER / - / Resol. TMP
PFEIFFER / - / Resol. TMPC
PFEIFFER / TMH 520 IS / Beamline TMP
PFEIFFER / - / Beamline TMPC
CTI / Cryotorr / End station C/P
GEN 1 CRYOPUMP 4F / - / Left loadlock
GEN 1 CRYOPUMP 4F / - / Right loadlock
EBARA / 40x20 / End station dry
CTI / 9600 / Cryo compressor
Process gas:
High pressure:
AsH3
PH3
Ar(N2)
BF3: SDS X2
High voltage range:
Extraction power supply: 0 keV~40 keV
Acceleration power supply: 0 keV~180 keV
Power supplies (Assembly):
Arc: 300VDC, 15A
Filament: 7.5VDC, 200A
Source magnet: 20V, 50A
Extraction: 40kV (Max:75kV), 50mA
Extraction suppression: -2kV, 50mA
Analyzer magnet: 40V, 125A (Max:150A)
Mirror power supply: 30kV, 2.5mA
Quadrupole magnet #1: 20V, 50A
Quadrupole magnet #2: 20V, 50A
Scan generator: -30kV, 10mA
Crucible (Vaporizer) power supply: 60kV, 1.2mA
Dipole lens magnet: 40V, 125A (Max:150A)
Acceleration: 180kV, 5mA (-> 8mA)
Acceleration suppression: -5kV, 5mA
Controller (Assembly):
Left arm servo
Right arm servo
Vacuum gauge
Scan faraday
Platen tilt servo
Vertical lift orienter
Uniformity
Liner motor servo amp
Orienter
Left elevator
Right elevator
Dose integrator
DI Temp monitor
Options:
Gas box type: 2-High pressure bottle, 2-SDS Insert
Source type: Bernas no vaporizer
Utilities:
Power: 208 VAC, 3-Phase, 5-wires, 45 kVA, 120 FLA
Air: 100~150 PSI
N2: 40~150 PSI
Cooling water: 60~150 PSI, temp: 4~21°C
1994 vintage.
VARIAN E220 ist ein hochmoderner Ionenimplantatmonitor, der für die technische Dünnschichtproduktion in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Dieses Gerät verwendet eine selbstkorrigierende Methode, um eine präzise Ionenplatzierung zu gewährleisten, während die Dosierungsvariation während des gesamten Prozesses überwacht wird. VARIAN E-220 verwendet drei Komponenten, die eine Ionenquelle, eine Implantatkammer und einen Dosierungsmonitor umfassen. Mit der Ionenquelle werden Ionen in einem Strahl zur Probe hin beschleunigt. Die Implantatkammer beherbergt die Probe und induziert ein elektrisches Feld, um auf die Ionen beim Durchgang durch die Kammer einzuwirken. Dieses elektrische Feld bestimmt die Energie und Richtung der Ionen, was für präzise technische Dünnschichten wesentlich ist. Der Dosismonitor wird verwendet, um sicherzustellen, dass die Dosierung der Ionen kontrolliert und überwacht wird, um sicherzustellen, dass sie den gewünschten Wert für den Prozess nicht überschreitet. E 220 enthält eine Stromversorgung zur Regelung des Spannungspegels des Ionenstrahls sowie eine Reihe von Sensoren, die die Leistung, Position und Intensität des Strahls überwachen. Das System ist auch mit einer Vorrichtung ausgestattet, die die Ausbreitung von Partikeln reguliert, so dass nur solche innerhalb eines bestimmten Bereichs durchlaufen werden können. Dadurch wird sichergestellt, dass die dabei eingesetzten Partikel innerhalb der gewünschten Parameter für die Dünnschichtherstellung liegen. Schließlich ist VARIAN E 220 mit einer fortschrittlichen intelligenten Steuereinheit konzipiert, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Auf diese Weise kann der Bediener die gewünschten Parameter für die Dünnschichtproduktion einfach einstellen und den Prozess genau überwachen, ohne die Werte manuell einstellen zu müssen. Insgesamt ist E220 dank seiner präzisen Steuerung der Ionenplatzierung und -dosierung, der fortschrittlichen Steuerungsmaschine und des Sensorarrays ein effektives und zuverlässiges Werkzeug für die konstruierte Dünnschichtproduktion. Mit diesem Werkzeug können Hersteller dünne Folien mit minimalem Aufwand präzise entwickeln.
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