Gebraucht VARIAN E220 #9262460 zu verkaufen

VARIAN E220 Ion Implanter and Monitor ist ein Hochleistungsgerät zur Implantation von Bor oder Phosphor in Halbleiterscheiben. Es nutzt die neuesten Technologien im Ionenbeschleuniger-Design, um eine hervorragende Prozesskontrolle und Präzision zu bieten. Der Ionenimplantationsprozess erfordert hohe Leistung, Niederspannungsschaltung und eine präzise Steuerung der Strahlintensität und Fokussierungsparameter. VARIAN E-220 ist eine voll programmierbare, modulare Maschine mit einer Vielzahl von Optionen, einschließlich einer Energieauswahlausrüstung und Strahlrasterung. Das Energieauswahlsystem verfügt über eine elektrostatische Abtasteinheit P2, mit der gleichzeitig mehrere energetische Ionen oder Ionen mit unterschiedlichen kinetischen Energien implantiert werden können. Die Rastermaschine ermöglicht es dem Benutzer, die Strahlparameter einfach einzustellen und die Oberfläche der Wafer zu scannen. Die Strahlparameter können auf spezifische Anwendungen wie ultraseichte Übergangsimplantate oder Ionen mit geringer Fruchtbarkeit zugeschnitten werden. E 220 verfügt auch über ein hochauflösendes PML500 ladungsgekoppeltes Gerätekamera-Tool. Diese Anlage verwendet einen positionsempfindlichen Detektor, um den Ionenimplantationsprozess genau zu überwachen. Die Kamera kann verwendet werden, um Änderungen im Implantatprofil zu erkennen und zu diagnostizieren. Das Steuerelektronik-Paket von E220 ist auf dem neuesten Stand der Technik und verwendet eine Vielzahl von Softwareparametern, einschließlich des IPC-Modells (Integrated Process Control). Die IPC-Ausrüstung bietet umfassende Funktionen zur Überwachung und Steuerung des Ionenimplantationsprozesses. Dieses System kann zur automatischen Regelung der Beschleunigungsspannung, Strahlintensität, Strahlraster oder Fläche und Dosisrate verwendet werden. VARIAN E 220 umfasst auch eine Impulsgeneratoreinheit und eine Energiesteuerung. Der Impulsgenerator erzeugt eine Spannungsrechteckwelle, die die Frequenz und Gesamtzeit des Strahlbetriebs des Ionenimplantierers bestimmt. Das Energiesteuergerät sorgt für eine präzise Steuerung der Strahlenergie und dafür, dass die Strahlenergie während des Prozesses konstant bleibt. Insgesamt ist E-220 Ionenimplantator und Monitor ein leistungsfähiges und zuverlässiges Implantationswerkzeug. Es bietet eine hervorragende Prozesskontrolle und Präzision sowie Funktionen, die sicherstellen, dass Änderungen im Implantatprofil erkannt und diagnostiziert werden. Es ist ein wertvolles Werkzeug für Halbleiter und die neuesten Technologien im Ionenbeschleuniger-Design.