Gebraucht VARIAN E220 #9270111 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9270111
Medium current ion implanter, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
SEIKO SEIKI Turbo pumps
EDWARDS Booster pump with (2) ADIXEN scrolls
Load locks with VARIAN Turbo-V 250 pumps
CTI-CRYOGENICS 10F (on-board) Cryo pump, P/N 8116164G002R
CTI-CRYOGENICS 9600 Helium compressor
Bernas head type
Suppression surge protector
Reducer: 2 Steps
Mirror read back
Post scan chamber
Wafer clamp and roplat: E-clamp
Main monitor touch screen, 19"
Service monitor: Remote module
Auto decel
HV Probe
Exhaust leak detect
Gas interlock unit
Gas box type:
BF3: High pressure
PH3: SDS
AsH3: SDS
Ar: High pressure
Filament PS: CPI
Arc power supply: CPI.
VARIAN E220 ist ein Ionen-Implantier- und Überwachungssystem für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Diese Vorrichtung ist in der Lage, Ionenimplantation und Abwasserüberwachung zur Herstellung von Bauelementen wie Transistoren, Dioden und integrierten Schaltungen bereitzustellen. VARIAN E-220 ist in der Lage, drei Generationen von Ionenflussverteilungen aus einem intensiven Strahl von hochenergetischen Ionen mit extrem hoher Genauigkeit zu liefern. Dies ermöglicht erhebliche Einsparungen, da die Kosten für die Implantation eines einzelnen Wafers drastisch reduziert werden. E 220 hat eine variable Strahlspreizung mit einer Abstrahldivergenz, die es ermöglicht, eine hohe Dosisrate zu erreichen, und seine Modulation der Wafergeschwindigkeit und Strahlausrichtung mit programmierbaren Musterverschiebungen, optimierten Strahloptimierungsfaktoren und einem höheren Grad an Gleichmäßigkeit als konkurrenzfähige Implantatsysteme. VARIAN E 220 ist für maximale Flexibilität und Zuverlässigkeit ausgelegt, sodass es eine Vielzahl von Implantaten und mehreren Substraten handhaben kann. Sein Nennleistungsbereich kann zwischen 0,1 und 250 keV und sein maximaler Strahlstrom zwischen 0,1 und 10 µA liegen. Mit diesen Einstellungen haben die Bediener Zugang zu den in der Branche erreichbaren Ionenimplantaten höchster Präzision. E220 umfasst auch eine umfassende Abwasserüberwachung, die die Kontrolle und Einhaltung prozessbezogener Abgasanforderungen ermöglicht. Durch sein integriertes Control-Monitor-System kann der Benutzer Vakuumpumpen, Gasfluss, Druck, Lastverriegelungskammern, HF-Generatoren und Diagnosewerkzeuge überwachen und schnelle und genaue Reaktionen auf Änderungen bei Bedarf ermöglichen. E-220 ist eine kostengünstige und zuverlässige Wahl für die Ionenimplantation und Abwasserüberwachung. Sein Leistungsspektrum und seine Betriebsarten ermöglichen es ihm, in den komplexesten Halbleiterherstellungsprozessen zu gedeihen. Seine Abstrahldivergenz, hohe Dosisraten und hochpräzise Ionenimplantate machen VARIAN E220 zu einer optimalen Wahl für jede Organisation, die eine zuverlässige und effiziente Implantation benötigt.
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