Gebraucht VARIAN E220 #9272647 zu verkaufen
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VARIAN E220 Ionenimplantierer und -monitor ist ein hochpräzises, hochmodernes Werkzeug, das entwickelt wurde, um die Implantation von Dotierstoffen in Halbleiterscheiben zu implantieren und zu überwachen. Diese Maschine wurde so konzipiert, dass sie kostengünstig und dennoch robust ist und Dotierstoffe mit gleichmäßiger Geschwindigkeit und Tiefe in das gewünschte Substrat genau überwacht und implantiert. VARIAN E-220 verfügt über eine einstellbare Ionenbeschleunigung und -verzögerung, um dem Anwender die bestmögliche Dosisgleichmäßigkeit für präzisere Implantationen und Monitore zu geben. Diese Maschine ist in der Lage, bis zu sechzehn Wafer gleichzeitig zu analysieren und verfügt über einen einstellbaren Ionen-Implantatstrahl mit einem maximalen Implantationsstrom von bis zu 200mA und einer variablen Strahlfleckgröße von bis zu 4mm Durchmesser. E 220 hat auch eine Probe Tracker und Tisch Zufuhrsystem, die Wafer Platzierung und Orientierung Genauigkeit gewährleistet. Es hat auch ein fortschrittliches Emissionsrückkopplungssystem für genaue Implantation. VARIAN E 220 verfügt über einen integrierten On-Cell Implanter (OCI) zur Optimierung der Implantationstiefe durch Steuerung des Ionenstrahlstroms und der Verzögerung an der Probenposition. Dieser OCI liefert nachweislich gleichmäßige Dotierungskonzentrationen und Dosisprofile über den gesamten Wafer. Diese Maschine verfügt auch über einen OCI-Monitor, mit dem die Ionenimplantation in Echtzeit mit einer Zwei-Puls-Periode überwacht werden kann. E-220 Ionenimplantierer und -monitor ist hochenergiesparend bei optimaler Ressourcennutzung konzipiert. Durch die In-situ-Überwachung und Steuerung des Implantatstrahlstroms führt diese Maschine zu einer verbesserten Prozesssteuerung und höheren Produktionsausbeuten. Die Datenerfassungs- und Analysefunktionen von E220 bieten auch unschätzbare Daten, mit denen die Wiederholbarkeit verbessert und die Produktionskosten gesenkt werden können.
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