Gebraucht VARIAN E220HP #9194813 zu verkaufen
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![VARIAN E220HP Foto Verwendet VARIAN E220HP Zum Verkauf](https://cdn.caeonline.com/images/varian_e220hp_855263.jpg)
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Verkauft
ID: 9194813
Weinlese: 1995
Ion implanter, 8"
General configuration:
Terminal module / Beamline:
Scan generator: 20KeV
Mirror: 30KeV
Automatic graded decel option:
Decel relay & P/S: No
Hall probe option: No
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat / Tilt type: Belt type
Enclosure:
Video viewing of wafer loading: No
Smoke detectors: Yes
Accessories:
Source turbo pump: SEIKO SEIKI STP1000C
Analyzer turbo pump: SEIKO SEIKI STP300C
Beamline turbo pump: SEIKO SEIKI STP1000C
Beam line booster pump: No
Stage pump: EBARA
Load-lock reough pump: EBARA
Load-lock pump: Cryo
Target cryo pump: Cryo
Mainframe
Missing parts:
Filament P/S
ARC P/S
Manipulator controller
Source magnet P/S
Analyzer magnet P/S
Q1 Magnet P/S
Q2 Magnet P/S
Terminal vacuum controller
Extraction P/S
Extraction stack
Extraction surppresion P/S
Analyzer chamber assy
Scanner assy
Setup cup assy
Mirror assy
Setup cup pre-amp controller
Source chamber assy
Source head assy
Source magnet assy
Manipulator assy
Source isolation valve assy
Lens magnet P/S
Source turbo controller
Source turbo pump
Source roughing pump
Terminal D.I filter assy
Trek (Scanner) P/S
B/L Turbo pump
Beam dump cup assy
Traveling (Target) faraday assy
Left L/L door assy
Left L/L pivot assy
L/L Isolation valve assy
Left L/L cryo pump
Target chamber cryo pump
Focer (Linear motor) assy with plate assy
Right L/L chamber vent module (Filter)
PH3 Gas line module assy
AsH3 Gas line module assy
Scan faraday controller assy
Vert. lift orienter controller
Uniformity controller
Linear motor servo controller
Orient controller
Left elevator controller
D.I Temperature monitor controller
Dose integrator controller
1995 vintage.
VARIAN E220HP ist ein Ionenimplantierer und -monitor für industrielle Anwendungen wie Implantation, Bestrahlung und Laboranwendung. Dieses Gerät ist das neueste Modell in Ionenimplantat- und Überwachungsgeräten und bietet eine überlegene Leistung gegenüber früheren Modellen. Das Hauptmerkmal von VARIAN E220 HP ist seine effiziente und präzise Energiezufuhrausrüstung, die die Energiezufuhr für detaillierte, präzise Implantations- und Bestrahlungsoperationen präzise steuern kann. Diese effiziente, präzise Energiezufuhr wird durch ein innovatives Scanner-System und eine Vierquadranten-Strahlablenkung optimiert, die eine überlegene dynamische Fokusregelung und überlegene Strahlkorrektur bietet. Das Gerät kann mit einem Controller oder einer Computereinheit integriert werden, um den Betrieb zu optimieren, und die intuitive Benutzeroberfläche sorgt für eine einfache Navigation und eine effiziente Bedienung. E 220 HP ist extrem zuverlässig, da es den höchsten Sicherheitsstandards entspricht. Alle Komponenten sind von höchster Qualität und gewährleisten eine lange Lebensdauer. Dazu gehört die separate Ionenstrahl- und Ionenquellenmaschine, die einen breiten, homogenen Energiebereich für optimale Implantations- und Bestrahlungsergebnisse liefert. E220 HP bietet auch mehrere Funktionen für eine effiziente, genaue Überwachung der Herstellung und des Zustands implantierter Materialien. Dazu gehört ein optisches Detektionswerkzeug, das Verunreinigungen aus einer Vielzahl von Quellen wie Ionenimplantation, Elektronenstrahlbeschuss und Laserprozesse detektieren kann. Darüber hinaus kann das Gerät auch die thermischen und magnetischen Eigenschaften der Anlage überwachen, um die Lieferung einer einheitlichen und konsistenten Dosis für hochpräzise Ergebnisse zu gewährleisten. Der Monitor bietet auch mehrere andere Funktionen wie automatische Kalibrierung, Betriebswarner und benutzerdefinierte Profilparameter. Insgesamt ist E220HP ein vielseitiger und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der außergewöhnliche Leistung und Genauigkeit bietet. Das effiziente, präzise Energieversorgungsmodell und die erweiterten Überwachungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Reihe von Industrie- und Laboranwendungen.
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