Gebraucht VARIAN E220HP #9222331 zu verkaufen
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![VARIAN E220HP Foto Verwendet VARIAN E220HP Zum Verkauf](https://cdn.caeonline.com/images/varian_e220-hp_969410.jpg)
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Verkauft
ID: 9222331
Wafergröße: 6"
Medium current ion implanter, 6"
(2) Stage EBARA dry pumps
EBARA E/S Rough dry pump
EBARA Source roughing dry pump
Compressor: CTI-8500 / SUZUKI C300
He line: 15M
Target cryo: CT-8F
Load lock pump: SUZUKI Baby Cryo
Source Pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Aperture pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Scanner pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Vacuum system Gauge: CCIG
Cooling system: Ground & terminal water pump
Power system:
UPS
Wafer handler system
Hand off type: Standard
Handler motor
Platen (Mechanical)
Roplat head
Roplat cable
Tilter assy P/N
Linear motor servo controller
Platen tilter servo controller
Rotating platen / Scanfara controller
Ropins motor
Scan field forcer
Heat exchange
Orienter motor (Belt type)
Orienter sensor (Lamp)
Orienter controller
Orienter lifter controller
Right elevator controller
Left elevator controller
Mapping sensor
Cassette / Tilt sensor
Service monitor
Gas supply system:
Gas bottle type: High pressure
(3) Gas bottle
Gas box type: HP
Beam generation / Source:
Ion source: E11030996 Bernas
Arc PS
Filament PS
Extraction PS: 40 kV
Extraction suppression PS
AMU Power supply
Lens power supply
E220 Source bushing
2 Step reducer
Beam generation / Beam-line
Trek amplifier: 20 KV
Acceleration PS: 180 KV
Acceleration suppression PS
Acceleration column
Mirror PS
Decel PS
PCB Scan generator
Scan generator controller
Beam measurement & scan check:
Uniformity controller
Dose integrator control
Beam purity check
Faraday
No Accel / Decel switch hardware
Quality kit: E220 Energy probe
Automation: Host.
VARIAN E220HP ist ein Ionenimplantator und Monitorgerät zur Halbleiterherstellung. Dieses System ist ein Upgrade von der 220-Serie von Implantaten und bietet einen größeren Strahl von Ionen für Materialmodifikation und Dotierstoffimplantation. Dieser Implantierer verfügt über eine unglaublich leistungsstarke Steuereinheit, die eine präzise Steuerung des Strahls und seiner Parameter ermöglicht. Die Maschine ist auch mit mehreren Sicherheitssystemen ausgestattet, wie Feeder-Erkennung, Implantiermotor Überlastung, und Überdruck-Detektoren. Der Hauptvorteil des Einsatzes von VARIAN E220 HP ist seine hohe Präzision und Genauigkeit bei Materialänderungsprozessen. Dieses Werkzeug ist in der Lage, mit einer Reihe von Materialien umzugehen, einschließlich Metallen, Halbleitern und Kunststoffen. Das Steuermodell des Vermögenswertes wurde entwickelt, um exakte und konsistente Dosen der Implantation unter Beibehaltung der begrenzten Strahlgröße und Flussdichte anzuwenden. Zusätzlich ist das Gerät in der Lage, Ionenenergien von 20 keV bis 6000 keV zu erzielen, je nach modifiziertem Material. E 220 HP ist auch mit mehreren Funktionen ausgestattet, die die Systemwartung und Diagnose von Problemen erleichtern. Das Gerät ist mit einer kontinuierlich überwachten Bewegungserkennungsmaschine ausgestattet, die für andere Ionenimplantate benötigte Verriegelungen eliminiert. Die Systeme verfügen zudem über einen Touchscreen-Monitor und eine umfassende grafische Benutzeroberfläche (GUI). Diese GUI bietet Echtzeit-Feedback aller Werkzeugdiagnosen, von der Bestandsleistungsüberwachung bis hin zu Fehlern. Insgesamt ist VARIAN E 220 HP ein unglaublich leistungsfähiges und präzises Ionenimplantat- und Monitormodell, das eine Reihe von Materialien für eine genaue und konsistente Materialänderung handhaben kann. Die Sicherheitsmerkmale des Geräts, das Bewegungserkennungssystem und die umfassende grafische Benutzeroberfläche machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterherstellung.
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