Gebraucht VARIAN E220HP #9222331 zu verkaufen

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ID: 9222331
Wafergröße: 6"
Medium current ion implanter, 6" (2) Stage EBARA dry pumps EBARA E/S Rough dry pump EBARA Source roughing dry pump Compressor: CTI-8500 / SUZUKI C300 He line: 15M Target cryo: CT-8F Load lock pump: SUZUKI Baby Cryo Source Pump: SEIKO SEIKI Turbo pump Aperture pump: SEIKO SEIKI Turbo pump Scanner pump: SEIKO SEIKI Turbo pump Vacuum system Gauge: CCIG Cooling system: Ground & terminal water pump Power system: UPS Wafer handler system Hand off type: Standard Handler motor Platen (Mechanical) Roplat head Roplat cable Tilter assy P/N Linear motor servo controller Platen tilter servo controller Rotating platen / Scanfara controller Ropins motor Scan field forcer Heat exchange Orienter motor (Belt type) Orienter sensor (Lamp) Orienter controller Orienter lifter controller Right elevator controller Left elevator controller Mapping sensor Cassette / Tilt sensor Service monitor Gas supply system: Gas bottle type: High pressure (3) Gas bottle Gas box type: HP Beam generation / Source: Ion source: E11030996 Bernas Arc PS Filament PS Extraction PS: 40 kV Extraction suppression PS AMU Power supply Lens power supply E220 Source bushing 2 Step reducer Beam generation / Beam-line Trek amplifier: 20 KV Acceleration PS: 180 KV Acceleration suppression PS Acceleration column Mirror PS Decel PS PCB Scan generator Scan generator controller Beam measurement & scan check: Uniformity controller Dose integrator control Beam purity check Faraday No Accel / Decel switch hardware Quality kit: E220 Energy probe Automation: Host.
VARIAN E220HP ist ein Ionenimplantator und Monitorgerät zur Halbleiterherstellung. Dieses System ist ein Upgrade von der 220-Serie von Implantaten und bietet einen größeren Strahl von Ionen für Materialmodifikation und Dotierstoffimplantation. Dieser Implantierer verfügt über eine unglaublich leistungsstarke Steuereinheit, die eine präzise Steuerung des Strahls und seiner Parameter ermöglicht. Die Maschine ist auch mit mehreren Sicherheitssystemen ausgestattet, wie Feeder-Erkennung, Implantiermotor Überlastung, und Überdruck-Detektoren. Der Hauptvorteil des Einsatzes von VARIAN E220 HP ist seine hohe Präzision und Genauigkeit bei Materialänderungsprozessen. Dieses Werkzeug ist in der Lage, mit einer Reihe von Materialien umzugehen, einschließlich Metallen, Halbleitern und Kunststoffen. Das Steuermodell des Vermögenswertes wurde entwickelt, um exakte und konsistente Dosen der Implantation unter Beibehaltung der begrenzten Strahlgröße und Flussdichte anzuwenden. Zusätzlich ist das Gerät in der Lage, Ionenenergien von 20 keV bis 6000 keV zu erzielen, je nach modifiziertem Material. E 220 HP ist auch mit mehreren Funktionen ausgestattet, die die Systemwartung und Diagnose von Problemen erleichtern. Das Gerät ist mit einer kontinuierlich überwachten Bewegungserkennungsmaschine ausgestattet, die für andere Ionenimplantate benötigte Verriegelungen eliminiert. Die Systeme verfügen zudem über einen Touchscreen-Monitor und eine umfassende grafische Benutzeroberfläche (GUI). Diese GUI bietet Echtzeit-Feedback aller Werkzeugdiagnosen, von der Bestandsleistungsüberwachung bis hin zu Fehlern. Insgesamt ist VARIAN E 220 HP ein unglaublich leistungsfähiges und präzises Ionenimplantat- und Monitormodell, das eine Reihe von Materialien für eine genaue und konsistente Materialänderung handhaben kann. Die Sicherheitsmerkmale des Geräts, das Bewegungserkennungssystem und die umfassende grafische Benutzeroberfläche machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterherstellung.
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