Gebraucht VARIAN E220HP #9237131 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237131
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Ion implanter, 8"
Terminal module / Gas cabinet:
Gas cylinder volume: 4 ltrs
No Ar (External / Internal)
AsH3 Cylinder type: High pressure
PH3 Cylinder type: SDS 2.25L
BF3 Cylinder type: High pressure 1L
Gas line purge
No dual vaporizer option
M-Chuck
Terminal module / Source:
Source head type: Bernus
Source bushing type: EHP
No source magnet polarity switch
No 2 steps reducer type option
Terminal module / Beam-line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
Automatic graded decel relay & P/S
No hall probe option
Beam energy probe option
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat & tilt type
Travel faraday type: TVL Faraday
No metal contamination reduction kit option
CVCF
Enclosure:
No video viewing of wafer loading
No three light signal tower
Smoke detectors
No water leak detectors
No service monitor
Accessories:
Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C
Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Source rough pump type: EBARA 40x20
No beam line booster pump
Stage pump type: EBARA 50x20
L/L Pump type: EBARA A30W
Target cryo pump type: CTI-250
Load lock pump type: AISHIN GD263
Cryo compressor type: SUZUKI C300
Remote PD
Option: Beam drift monitor
System PC: 1 GHz
Spare parts:
Ion source head
Terminal insulator
1994 vintage.
VARIAN E220HP Endstation ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung entworfen, um maximale Strahlstrom und Energiestabilität zur Verfügung zu stellen. Dieses vielseitige Arbeitstier eines Systems ist mit modernsten Technologien ausgestattet, um die besten Ergebnisse bei der Implantation und Überwachung der Tiefe, Schiefe und Gleichmäßigkeit des Implantats zu gewährleisten. Das Gerät wird von einem energieeffizienten, leistungsstarken Doppelstrahlbeschleuniger angetrieben, der entweder im Einzel- oder Mehrstrahlbetrieb ausgeführt werden kann. Dies ermöglicht eine größere Flexibilität und eine erhöhte Kontrolle der Implantation und Dosissteuerung für jede Anwendung. Die Maschine ist außerdem mit einer robusten Schildanordnung ausgestattet, die Strahlungsemissionen aus dem Beschleuniger verringern soll. Dieses Merkmal des Werkzeugs stellt sicher, dass die Arbeitsumgebung sicher gehalten wird und die Qualität der erzeugten Implantate von höchster Qualität ist. Für die Überwachung von Implantatprofilen ist das Gerät mit einem hochpräzisen Strahlabstimmungsmodell ausgestattet, das eine präzise Steuerung der Strahlposition und Dosisverteilung ermöglicht. Die Überwachungseinrichtung kann auch die Ungleichmäßigkeit des Implantats messen. Es enthält Software, die Regionen von Ungleichförmigkeit schnell identifizieren und Lösungen zur Behebung des Problems anbieten kann. Das System umfasst auch eine Vielzahl von Diagnosewerkzeugen, die zur weiteren Feinabstimmung des Prozesses eingesetzt werden können und sicherstellen, dass Implantate von höchster Qualität und Zuverlässigkeit sind. Das Gerät verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, den gesamten Implantatprozess mühelos zu verwalten. Seine grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Navigation und alle notwendigen Einstellungen können mit wenigen Klicks verwaltet werden. Dies macht den gesamten Implantatprozess effizienter und reduziert den Zeitaufwand, um den Prozess abzuschließen. VARIAN E220 HP wurde auch entwickelt, um maximale Maschinenverfügbarkeit und Zuverlässigkeit zu bieten. Es verfügt über ein Selbstüberwachungswerkzeug, das Probleme erkennen kann, bevor sie zu einem Problem werden und den Bediener warnen. Die Maschine verfügt auch über automatisierte Wartungsprotokolle und benutzerdefinierte Wartungsroutinen, die es effizient und effektiv zu jeder Zeit zu halten. E 220 HP ist die perfekte Bereicherung für Hersteller, die nach Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor suchen. Mit seinen hochmodernen Funktionen, der robusten Schildmontage und der benutzerfreundlichen Oberfläche ist es sicher, Implantate höchster Qualität in Effizienz und Zuverlässigkeit bereitzustellen.
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