Gebraucht VARIAN E220HP #9237387 zu verkaufen

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ID: 9237387
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Ion implanter, 8" Main components: End station module Terminal module Services module PC & Monitor Accel column Accel stack Accel PSU & tray Accel suppession PSU Decel PSU Enclosure Signal tower & HV lights Signal tower controller box Exhaust leakage box No remote PC & monitor End station services module: Right arm servo controller Vacuum gauge controller Scanning faraday controller Platen tilt servo controller Uniformity controller Liner motor servo controller Orienter controller Left elevator controller Right elevator controller E-Chuck clamp PSU Dose integrator controller D.I. Temp monitor Vertical lift orienter No electric flood controller No UPS Terminal PSU & Assy: Set-up faraday cup assy Extraction manipulator Motion controller Swing out arm decel Relay arm decel assy Set-up mirror assy Neutral dump assy Anal beam dump assy Source mag assy Anal mag assy Quad mag assy Lens mag assy Scan controller Scan generator: 20Kv Set-up faraday pre-amp Vacuum gauge controller Scan assy Analyzer PSU Extraction PSU Lens PSU Suppression PSU Mirror PSU: 30 Kv Source mag PSU No 30 Kv scan generator No Mirror 60 Kv PSU Source head & gas cabinet: Source head Arc PSU Filament PSU No vaporizer No vaporizer PSU Gas module: (2) AsH3: SDS PH3: SDS (3) BF3: SDS (4) Ar: Diss, CGA 580 Vacuum system: EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000C Source turbo pump EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-300 Resolve turbo pump EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000 End station cryo pump CTI 250F Load / R cryo pump CTI 4F Load / L cryo pump CTI 4F Beam-line turbo pump 1995 vintage.
VARIAN E220HP ist ein Ionenimplantierer und -monitor für hochpräzise Implantations- und Prozesskontrollanwendungen. Es bietet ausgezeichnete Leistung in mehreren Bereichen, einschließlich hoher Dosisrate, genaue Strahlparameter, Genauigkeit der Quellposition und bessere Kontrolle der Strahlgleichförmigkeit. VARIAN E220 HP wurde entwickelt, um einvernehmlich hohe Dosisraten von bis zu 80μA/cm2 zu erzielen. Die Ionenquelle hat eine einstellbare Spotgröße, die zwischen 1,2 und 3,2 mm geändert werden kann. Die Gleichmäßigkeit des Strahls bietet genaue Strahlparameter, die die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Ergebnisse erhöhen. Zur präzisen Positionierung von Balken und Intensitätsprofilen ist ein hochempfindliches Positionsrückkopplungsgerät enthalten. Der Monitor enthält einen automatisierten zweistufigen Monitor, der sowohl Strahlgleichförmigkeit als auch Profilparameter misst und steuert. Dieser Monitor kann an unterschiedliche Abscheidungsanforderungen angepasst werden und hält die Strahlwiederholbarkeit auf ± 0,5%. Es ermöglicht dem Benutzer auch, Profile voreinzustellen und seine erweiterten Steuerungseinstellungen können die Partikelkonzentration und Gleichmäßigkeit verbessern. E 220 HP verfügt auch über ein Prozessleitsystem, das mit der Verbesserung der Technologie sicher kalibriert werden kann. Diese Einheit erfasst und speichert ständig Prozessdaten für jeden Implantatvorgang, was die Genauigkeit und Rückverfolgbarkeit gewährleistet. Auf diese Daten kann zugegriffen werden, um Prozessdiskrepanzen zu untersuchen oder kritische Prozesskontrolldokumentation bereitzustellen. Abgesehen von seinen erweiterten Steuerungsfunktionen hat E220HP auch mehrere Sicherheitsmaßnahmen installiert. Es verfügt über eine breite Palette von Alarmfunktionen wie Pumpe, Lüfter oder Energieüberwachungsalarme, die einen optimalen Schutz für Bediener und die Umgebung gewährleisten. Zusammenfassend ist E220 HP ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der dem Anwender eine außergewöhnliche Leistung bietet. Die gleichbleibend hohen Dosisraten, die genauen Strahlparameter, die präzise Positionierung von Strahlen und die fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine sind alle Schlüsselmerkmale, die VARIAN E 220 HP zu einer großen Wahl für Implantations- und Prozesssteuerungsanwendungen machen.
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