Gebraucht VARIAN E220HP #9237387 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237387
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Ion implanter, 8"
Main components:
End station module
Terminal module
Services module
PC & Monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suppession PSU
Decel PSU
Enclosure
Signal tower & HV lights
Signal tower controller box
Exhaust leakage box
No remote PC & monitor
End station services module:
Right arm servo controller
Vacuum gauge controller
Scanning faraday controller
Platen tilt servo controller
Uniformity controller
Liner motor servo controller
Orienter controller
Left elevator controller
Right elevator controller
E-Chuck clamp PSU
Dose integrator controller
D.I. Temp monitor
Vertical lift orienter
No electric flood controller
No UPS
Terminal PSU & Assy:
Set-up faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 20Kv
Set-up faraday pre-amp
Vacuum gauge controller
Scan assy
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror PSU: 30 Kv
Source mag PSU
No 30 Kv scan generator
No Mirror 60 Kv PSU
Source head & gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
No vaporizer
No vaporizer PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000C Source turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-300 Resolve turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000 End station cryo pump
CTI 250F Load / R cryo pump
CTI 4F Load / L cryo pump
CTI 4F Beam-line turbo pump
1995 vintage.
VARIAN E220HP ist ein Ionenimplantierer und -monitor für hochpräzise Implantations- und Prozesskontrollanwendungen. Es bietet ausgezeichnete Leistung in mehreren Bereichen, einschließlich hoher Dosisrate, genaue Strahlparameter, Genauigkeit der Quellposition und bessere Kontrolle der Strahlgleichförmigkeit. VARIAN E220 HP wurde entwickelt, um einvernehmlich hohe Dosisraten von bis zu 80μA/cm2 zu erzielen. Die Ionenquelle hat eine einstellbare Spotgröße, die zwischen 1,2 und 3,2 mm geändert werden kann. Die Gleichmäßigkeit des Strahls bietet genaue Strahlparameter, die die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Ergebnisse erhöhen. Zur präzisen Positionierung von Balken und Intensitätsprofilen ist ein hochempfindliches Positionsrückkopplungsgerät enthalten. Der Monitor enthält einen automatisierten zweistufigen Monitor, der sowohl Strahlgleichförmigkeit als auch Profilparameter misst und steuert. Dieser Monitor kann an unterschiedliche Abscheidungsanforderungen angepasst werden und hält die Strahlwiederholbarkeit auf ± 0,5%. Es ermöglicht dem Benutzer auch, Profile voreinzustellen und seine erweiterten Steuerungseinstellungen können die Partikelkonzentration und Gleichmäßigkeit verbessern. E 220 HP verfügt auch über ein Prozessleitsystem, das mit der Verbesserung der Technologie sicher kalibriert werden kann. Diese Einheit erfasst und speichert ständig Prozessdaten für jeden Implantatvorgang, was die Genauigkeit und Rückverfolgbarkeit gewährleistet. Auf diese Daten kann zugegriffen werden, um Prozessdiskrepanzen zu untersuchen oder kritische Prozesskontrolldokumentation bereitzustellen. Abgesehen von seinen erweiterten Steuerungsfunktionen hat E220HP auch mehrere Sicherheitsmaßnahmen installiert. Es verfügt über eine breite Palette von Alarmfunktionen wie Pumpe, Lüfter oder Energieüberwachungsalarme, die einen optimalen Schutz für Bediener und die Umgebung gewährleisten. Zusammenfassend ist E220 HP ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der dem Anwender eine außergewöhnliche Leistung bietet. Die gleichbleibend hohen Dosisraten, die genauen Strahlparameter, die präzise Positionierung von Strahlen und die fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine sind alle Schlüsselmerkmale, die VARIAN E 220 HP zu einer großen Wahl für Implantations- und Prozesssteuerungsanwendungen machen.
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