Gebraucht VARIAN E500 EHPI #293801765 zu verkaufen

VARIAN E500 EHPI
ID: 293801765
Wafergröße: 8"
Ion implanter, 8".
VARIAN E500 EHPI ist ein Ionenimplantator und -monitor zur Steuerung und Implantation von geladenen Partikeln in Halbleitersubstrate. Der Implantierer wird in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, einschließlich Halbleiterproduktion und -verpackung, Luft- und Raumfahrt und -verteidigung, Kommunikation, Automobil- und Medizinprodukteherstellung. E500 EHPI verwendet eine Gleichstrom (DC) -Ionenquelle zum Implantieren von geladenen Partikeln in das Substrat. Der Ionenimplantator ist in der Lage, einen weiten Energiebereich von mindestens 10 kV bis maximal 100 kV bereitzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine eine präzise Strahlsteuerung mit einer Genauigkeit von bis zu 10 Mikrometern (1/100 Millimeter). Die elektrischen Komponenten in VARIAN E500 EHPI sind in einem austauschbaren modularen Gehäuse eingeschlossen, was Wartung, Reparatur und Service einfach und unkompliziert macht. Das vollautomatisierte Gerät verfügt über eine Reihe von mechanischen und digitalen Komponenten, wie Führungsrollen, Heizungssensoren, Protonendetektoren, Temperaturüberwachungen und einen Elektronen-Rückstreudetektor. E500 EHPI ist einfach und einfach zu bedienen, mit intuitiver Programmierung und Display-Menüs. VARIAN E500 EHPI kann mit einer Vielzahl von Hardware- und Softwareoptionen konfiguriert werden, wie einem Strahlstrommonitor und einem Partikelquellenmonitor. Dies macht es ideal für Anwendungen wie das Implantieren einer Vielzahl von Materialien in Substrate unterschiedlicher Dicke. Das System ist auch in der Lage, Partikelspektren zu sammeln, die für weitere Analysen verwendet werden können. Sicherheit ist ein Schlüsselelement E500 EHPI, mit Perimeterleuchten und einem Not-Aus-Schalter, sowie einer verriegelten Kammertür, die verhindert, dass das Gerät bei geöffneter Kammertür funktioniert. Zusätzlich ist die Maschine mit einem Vakuumleckdetektor, einem Strahlungsschild und einem Ionenstrahl-Monitor ausgestattet. VARIAN E500 EHPI entspricht allen notwendigen Sicherheitsvorschriften, einschließlich HF- und ESD-Strahlensicherheitsnormen. Abschließend ist E500 EHPI ein zuverlässiger und leistungsfähiger Ionenimplantator und -monitor. Es kann mit einer Vielzahl von Hardware- und Softwareoptionen konfiguriert werden und ist einfach und einfach zu bedienen. Darüber hinaus verfügt es über mehrere Sicherheitsmerkmale, so dass es eine sichere Wahl für eine breite Palette von Anwendungen.
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