Gebraucht VARIAN E500 HP #9230820 zu verkaufen

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ID: 9230820
Weinlese: 1996
Medium current ion implanter Process gases : BF3, PH3, AsH3 Scrubber: Vector technology Chamber cryo pump: 250F Beamline turbo pump: STP-1000C Beamline dry pump: DPA-943492 Beamline turbo pump: STP-1000C L/L Cryo pump: 100 Cryo pump 9600 Compressor Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5 Wires, 42.3 kVA 1996 vintage.
VARIAN E500 HP ist ein High-End-Ionen-Implantierer und -Monitor. Es dient zur Implantierung und/oder Überwachung von Ionen in Halbleitermaterialien zur Herstellung elektronischer Bauelemente. VARIAN E500HP bietet eine hohe Leistungsgenauigkeit in Form einer 100kV Energieauflösung sowie eine sehr zuverlässige Stabilisierung der Dosisleistung, die überlegene Implantationsprozesse ermöglicht. Der integrierte HP-Monitor ermöglicht auch die Analyse und Verfolgung von Parametern, die den Implantationsprozess positiv beeinflussen, wie Dosisrate, Energieausbreitung und Spektularität der erzeugten Ionen. E-500HP bietet Anwendern eine Vielzahl von Optionen, so dass Benutzer die Ausrüstung an die spezifischen Bedürfnisse anpassen können. Die integrierte automatisierte Steuerung ermöglicht es Benutzern, das Gerät anzupassen, um die optimalen Implantatparameter zu erreichen, auch unter extremen Betriebsbedingungen. Diese Maschine bietet einfach zu erlernende und intuitive grafisch gesteuerte Benutzeroberflächentools sowie eine intuitive Baumansichtsdatenanzeige, die effektivere Implantationsanalysen ermöglicht. VARIAN E 500 HP bietet eine Auswahl an Strahlquellenleistungen für eine optimale Implantatsteuerung, einschließlich einachsiger, zweiachsiger und 4-achsiger Strahlquellen. Fortschrittliche Wärmemanagementtechnologie hilft Benutzern, das Potenzial der gesteuerten Strahlquelle zu maximieren und gleichzeitig konstante Strahlleistungen zu gewährleisten. Das optionale Partikeltransportwerkzeug bietet eine zuverlässige und wiederholbare Ausbeute für die Produktion von Halbleiterbauelementen mit hohem Durchsatz. Es ermöglicht auch eine verbesserte Implantatkonformität mit Industriestandards. E 500 HP ist mit einer vollautomatischen in-situ Endpunkterkennung ausgestattet. Dieses Modell wurde entwickelt, um das Ende eines Implantatprozesses mit hoher Genauigkeit zu erkennen. Diese Ausrüstung sorgt dafür, dass alle mit VARIAN E-500 HP implantierten Komponenten konsequent mit höchsten Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards geliefert werden. Neben der hohen Leistung des Geräts selbst können Anwender auch eine Reihe von Zubehörteilen nutzen, die auf die Maximierung der Produktivität ausgelegt sind. Dazu gehören Wafer-Handling-Roboter zum automatisierten Be- und Entladen von Wafern, die den Durchsatz erhöhen und die manuelle Handhabung von Wafern eliminieren. Weiteres Zubehör sind Vorrichtungen zur präzisen Platzierung von Wafern in der Kammer und Verriegelungssysteme, um eine ordnungsgemäße Prozessausführung zu gewährleisten. E500HP bietet Benutzern ein fortschrittliches Ionenimplantationssystem. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, der intuitiven Baumanzeige, der automatisierten Steuerung und der zuverlässigen In-situ-Endpunkterkennung bietet dieses Gerät eine kostengünstige und zuverlässige Methode der Präzisions-Ionenimplantation und -überwachung. Kombiniert mit einem kompletten Zubehör bietet VARIAN E-500HP eine breite Palette von Optionen, um einen optimalen Implantationsprozess zu gewährleisten.
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