Gebraucht VARIAN E500 #293625917 zu verkaufen

VARIAN E500 ist ein hochpräziser Ionenimplantator und Monitor, der in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es verfügt über ein Dual-Accelerator-Verfahren mit einer Strahlleistung von 10kW bis 30kW. Der beschleunigte Teilchenstrahl ist elektronisch eingestellt und sehr zuverlässig, so dass Benutzer die Dosis, Energie und das Profil jedes Implantats genau steuern können. Dieser fortschrittliche Ionenimplantator ist vielseitig einsetzbar und kann für Implantate von Hochdoping bis zu Subschwellenimplantaten eingesetzt werden. VARIAN E 500 enthält auch einen zuverlässigen Strahlmonitor und eine In-situ-Diagnose, um sicherzustellen, dass der Benutzer eine optimale Leistung von der Ausrüstung erhält. Hardwaremäßig ist E-500 ein vakuumdichtes System mit einer vollen Vakuumkammer aus Edelstahl. Die obere Einheit umfasst die Ionenquelle, die Extraktionsbaugruppe und einen hochpräzisen Quad-Axis Modulator. Dieser Modulator ist entscheidend, um sicherzustellen, dass der Strahl genau fokussiert und gerichtet ist. Im unteren Bereich befindet sich die Probenstufe mit einem XY-Bewegungstisch, der eine genaue Positionierung der Probe ermöglicht. Die Maschine verfügt außerdem über eine Scanneranordnung zur Steuerung des Ionenstrahls, der in die Probenkammer eintritt. Diese Abtastbaugruppe verfügt über bis zu vier elektrische Ablenkspulen zur Ablenkung des Strahls, was eine Genauigkeit bis zur Auflösung von Submikron ermöglicht. Darüber hinaus verfügt VARIAN E-500 über ein experimentelles Steuerungssubsystem, das eine automatisierte Parametereinstellung, Profiloptimierung und Datenerfassung ermöglicht. Auf der Softwareseite führt das Tool das Microsoft Windows-basierte Betriebsmittel aus, das eine zuverlässige Leistung gewährleistet. Die Software bietet Anwendern Einrichtungsflexibilität mit der Fähigkeit, den Strahl zu parametrieren und die Kammerbedingungen zu überwachen. Es verfügt auch über Datenanalyse-Fähigkeiten, die die Dosis und Energie jedes Implantats zeigen. Im Hinblick auf die Sicherheit ist das Modell mit einer wassergekühlten Ionenquelle ausgestattet, die den Aufbau von Ionen in der Ausrüstung verhindert und einen sicheren Betrieb von E 500 gewährleistet. Abschließend ist E500 ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der auch die anspruchsvollsten handhaben kann. Es bietet eine präzise Strahlsteuerung, In-situ-Diagnose und automatisierte Datenerfassung, wodurch Benutzer den Implantatprozess optimieren können. Die Kombination aus Ausrüstung und Software sorgt dafür, dass Anwender optimale Leistung vom System erhalten und gleichzeitig sicher und effizient bleiben.