Gebraucht VARIAN EHP-500 #9005445 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9005445
Ion Implanter, 8"
Software Version : V12.15 rev D
Wafer Clamp: e-clamp
Gas Box: HP type
Gas 1: BF3 HP
Gas 2: Ph3 HP
Gas 3: AsH3 HP
Gas 4: Ar HP
Main monitor: CRT touch screen
Service monitor: CRT touch screen
Traveling Faraday Type TVL New style
Auto Decel: Yes
Source head: Bernas
Hall probe: Gauss probe
Pumps:
Source Turbo Pump – Seiko Seiki STP-1000C
Beamline Turbo Pump – Both Seiko Seiki STP-1000C & STP-300
Endstation Cryo Pump
Chamber – V-250
Load Lock – V-300
Source Dry Pump – Edwards IQDP-80
Endstation Dry Pump – Edwards QDP-80
Differential Seals – IQDP80 + Blower
Cryo Compressor - 9600
Installed, can be demonstrated
1997 vintage.
VARIAN EHP-500 Ionenimplantierer ist eine präzise, hochentwickelte, integrierte Ausrüstung, die unter Berücksichtigung moderner Implantattechnik und Physik entwickelt wurde. Es ist ein kostengünstiges Werkzeug für Forscher und Wirtschaftsingenieure, die Ionen in ein Substrat implantieren müssen. Mit VARIAN EHP500 erhalten Sie während des Implantationsprozesses eine erstaunlich genaue Implantation, Überwachung und Steuerung des Ionenstroms, der Dosisrate und anderer Parameter. EHP 500 besteht aus einer Quelle, die einen stabilen Ionenstrahl und ein ionenoptisches System erzeugt, um ihn in die erforderliche Tiefe und im richtigen Winkel zu lenken. Es ist mit einer Strahlstromsteuereinheit ausgestattet, um den Strom innerhalb eines Messbereichs sicherzustellen und genau anzupassen. Die Maschine verfügt über einen Restgasanalysator, um den gesamten Ionenstrom, der durch das Restgas gestreut wird, zusammen mit anderen Parametern zu messen, die an jeder Stelle während des Prozesses überwacht werden können. Neben einer integrierten Computerschnittstelle zur Datenüberwachung verfügt VARIAN EHP 500 auch über eine Software, die verschiedene Parameter steuern und einstellen kann. Diese Software umfasst Funktionen wie Historie-Protokollierung, Dosisrate und Stromdichtesteuerung sowie Pulsweitenmodulation und integrierte Befehlssteuerung. EHP500 ist kompatibel mit einer Vielzahl von Ionenquellen und Substraten, einschließlich gespannter und entspannter Kanalionen, Kanal und regelmäßiger Siliziumionen-Implantation, Photoresist- und Trägerstrukturen sowie p-typischen und epitaktischen Substraten. Das Tool verfügt auch über eine breite Palette von Implantationsmedien wie Si, Ge, C, Sn und CO. EHP-500 ist sowohl benutzerfreundlich als auch bedienerfreundlich. Es ist ergonomisch entworfen, um die Ermüdung des Bedieners zu reduzieren, und seine intuitive Benutzeroberfläche hilft, die Effizienz zu erhöhen. Der Vermögenswert ist auch unglaublich robust; Es kann eine Vielzahl von Bedingungen bewältigen, einschließlich erhöhter Temperaturen, und ist beständig gegen mechanischen Schock und Vibrationen. VARIAN EHP-500 ist ein modernes, vielseitiges und präzises Implantationsmodell, das zuverlässig und einfach zu bedienen ist. Es eignet sich hervorragend für ein breites Spektrum von Ionenimplantationsanwendungen in Forschung und Industrie. Es ist die perfekte Wahl für alle, die einen robusten, leistungsstarken Ionenimplantierer & Monitor benötigen.
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