Gebraucht VARIAN EHP-500 #9181387 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8"
E-Chuck
Main components:
End station module
Services module
PC / Monitor
LCD Monitor
Controllers
Vertical lift orienter
Vacuum gauge
Uniformity
Left elevator
DI Temp monitor
Terminal module
Remote PC and monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suspension PSU
Enclosure
Signal tower & HV
Exhaust leakage box
Signal tower cont box
End station services module controllers:
Left arm servo
Right arm servo
Vacuum gauge
Scan faraday
Platen tilt servo
Vertical lift orienter
Uniformity
Liner motor servo
Orienter
Left elevator
Right elevator
Dose intergator
DI Temp monitor
E Clamp PSU
UPS
Terminal PSU's and assy:
Faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 30kV
Set-up faraday pre amp
Vacuum gauge cont
Scan assy
Quad 1 mag PSU
Quad 2 mag PSU
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror 60kV PSU
Source mag PSU
Source head and gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
Make Model Description
EDWARDS 1003C Source turbo pump
VARIAN V300HT Resolve turbo pump
EDWARDS 1003C Beamline turbo pump
CTI On-Board 10 Endstation cryo pump
CTI 9600 Cryo compressor
VARIAN V300HT Load / L turbo pump
VARIAN V300HT Load / L cryo pump
EBARA 50X20 Endstation dry pump
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Additional parts / Spares:
CCTV: ESC Type
1998 vintage.
VARIAN EHP-500 ist eine fortschrittliche Ionenimplantations- und Überwachungsausrüstung, die für den Umgang mit einer Vielzahl von Materialien und Ionenarten über eine breite Palette von Fähigkeiten entwickelt wurde. Das System basiert auf einer Mehrenergie, Mehrionsintegrationskontrollplattform, Ideal für Anwendungen wie Halbleitergerätherstellung, Nanotechnologie, physische Dampfabsetzung, dünne Filmabsetzung, das Ionsbalkenberechnen, die medizinische Physik und die anderen Bereiche. Die Hauptmerkmale des Geräts sind seine hohe Implantationsgenauigkeit, Gleichmäßigkeitskontrolle und geringe Partikelkontamination und Streuereignisse. VARIAN EHP500 verwendet eine hochpräzise Hexapol-Ionen-Quelle, die eine breite Palette von Energien, Winkeln und Kräften vermitteln kann. Diese Funktion ermöglicht eine präzise Ionenimplantation mit nahezu Null Ineffizienz und Gleichmäßigkeit. Die Maschine enthält auch ein erweitertes Steuerwerkzeug, mit dem Benutzer Parameter wie Beschleunigungspotentiale, Strahlintensitäten, Positionsgenauigkeit und Strahlfokussierung genau steuern können. Die EHP 500 verfügt zudem über eine integrierte Strahlüberwachung, die eine bessere Übersicht und Kontrolle des Prozesses bietet. Die Strahlwächter verwenden eine Vielzahl von Detektoren, einschließlich Faraday-Becher, Ionisationskammern und eine Reihe von digitalen Sonden. Das Modell bietet auch eine breite Palette von programmierbaren Funktionen, wie automatisches Strahlaustasten für bestimmte Ionen, Prozessschritteinleitung und automatisches Nullen. Die Geräte können in einer Vielzahl von Arbeitsumgebungen installiert werden, einschließlich Reinräumen, Kontrollräumen und entfernten Standorten, die zusätzliche Sicherheit erfordern. Die benutzerfreundliche Oberfläche und die fortschrittliche Diagnostik von EHP500 machen es zu einer idealen Wahl für Forschung und Industrieanwendungen. VARIAN EHP 500 wird auch verwendet, um komplexere Überwachungsaufgaben wie Tiefenprofilierung, Schadensbeurteilung, PID-Analyse und Strahllenkung durchzuführen. Diese Aufgaben können im Auto-Modus oder Schritt-für-Schritt-Modus ausgeführt werden und bieten Echtzeit-Feedback für eine bessere Prozesssteuerung und -optimierung. Zusammenfassend ist EHP-500 ein fortschrittliches Ionenimplantations- und Überwachungssystem, das für die hochgenaue, einheitliche und saubere Implantation einer Vielzahl von Materialien und Ionenarten entwickelt wurde. Das Gerät besteht aus einer hochpräzisen Hexapol-Ionenquelle, einer integrierten Strahlüberwachungsmaschine und verschiedenen programmierbaren Funktionen und bietet eine hohe Flexibilität und erhöhte Genauigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen.
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