Gebraucht VARIAN EHP-500 #9181387 zu verkaufen

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ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8" E-Chuck Main components: End station module Services module PC / Monitor LCD Monitor Controllers Vertical lift orienter Vacuum gauge Uniformity Left elevator DI Temp monitor Terminal module Remote PC and monitor Accel column Accel stack Accel PSU & tray Accel suspension PSU Enclosure Signal tower & HV Exhaust leakage box Signal tower cont box End station services module controllers: Left arm servo Right arm servo Vacuum gauge Scan faraday Platen tilt servo Vertical lift orienter Uniformity Liner motor servo Orienter Left elevator Right elevator Dose intergator DI Temp monitor E Clamp PSU UPS Terminal PSU's and assy: Faraday cup assy Extraction manipulator Motion controller Swing out arm decel Relay arm decel assy Set-up mirror assy Neutral dump assy Anal beam dump assy Source mag assy Anal mag assy Quad mag assy Lens mag assy Scan controller Scan generator: 30kV Set-up faraday pre amp Vacuum gauge cont Scan assy Quad 1 mag PSU Quad 2 mag PSU Analyzer PSU Extraction PSU Lens PSU Suppression PSU Mirror 60kV PSU Source mag PSU Source head and gas cabinet: Source head Arc PSU Filament PSU Gas module: (2) AsH3: SDS PH3: SDS (3) BF3: SDS (4) Ar: Diss, CGA 580 Vacuum system: Make Model Description EDWARDS 1003C Source turbo pump VARIAN V300HT Resolve turbo pump EDWARDS 1003C Beamline turbo pump CTI On-Board 10 Endstation cryo pump CTI 9600 Cryo compressor VARIAN V300HT Load / L turbo pump VARIAN V300HT Load / L cryo pump EBARA 50X20 Endstation dry pump EDWARDS QDP80 Terminal dry pump Additional parts / Spares: CCTV: ESC Type 1998 vintage.
VARIAN EHP-500 ist eine fortschrittliche Ionenimplantations- und Überwachungsausrüstung, die für den Umgang mit einer Vielzahl von Materialien und Ionenarten über eine breite Palette von Fähigkeiten entwickelt wurde. Das System basiert auf einer Mehrenergie, Mehrionsintegrationskontrollplattform, Ideal für Anwendungen wie Halbleitergerätherstellung, Nanotechnologie, physische Dampfabsetzung, dünne Filmabsetzung, das Ionsbalkenberechnen, die medizinische Physik und die anderen Bereiche. Die Hauptmerkmale des Geräts sind seine hohe Implantationsgenauigkeit, Gleichmäßigkeitskontrolle und geringe Partikelkontamination und Streuereignisse. VARIAN EHP500 verwendet eine hochpräzise Hexapol-Ionen-Quelle, die eine breite Palette von Energien, Winkeln und Kräften vermitteln kann. Diese Funktion ermöglicht eine präzise Ionenimplantation mit nahezu Null Ineffizienz und Gleichmäßigkeit. Die Maschine enthält auch ein erweitertes Steuerwerkzeug, mit dem Benutzer Parameter wie Beschleunigungspotentiale, Strahlintensitäten, Positionsgenauigkeit und Strahlfokussierung genau steuern können. Die EHP 500 verfügt zudem über eine integrierte Strahlüberwachung, die eine bessere Übersicht und Kontrolle des Prozesses bietet. Die Strahlwächter verwenden eine Vielzahl von Detektoren, einschließlich Faraday-Becher, Ionisationskammern und eine Reihe von digitalen Sonden. Das Modell bietet auch eine breite Palette von programmierbaren Funktionen, wie automatisches Strahlaustasten für bestimmte Ionen, Prozessschritteinleitung und automatisches Nullen. Die Geräte können in einer Vielzahl von Arbeitsumgebungen installiert werden, einschließlich Reinräumen, Kontrollräumen und entfernten Standorten, die zusätzliche Sicherheit erfordern. Die benutzerfreundliche Oberfläche und die fortschrittliche Diagnostik von EHP500 machen es zu einer idealen Wahl für Forschung und Industrieanwendungen. VARIAN EHP 500 wird auch verwendet, um komplexere Überwachungsaufgaben wie Tiefenprofilierung, Schadensbeurteilung, PID-Analyse und Strahllenkung durchzuführen. Diese Aufgaben können im Auto-Modus oder Schritt-für-Schritt-Modus ausgeführt werden und bieten Echtzeit-Feedback für eine bessere Prozesssteuerung und -optimierung. Zusammenfassend ist EHP-500 ein fortschrittliches Ionenimplantations- und Überwachungssystem, das für die hochgenaue, einheitliche und saubere Implantation einer Vielzahl von Materialien und Ionenarten entwickelt wurde. Das Gerät besteht aus einer hochpräzisen Hexapol-Ionenquelle, einer integrierten Strahlüberwachungsmaschine und verschiedenen programmierbaren Funktionen und bietet eine hohe Flexibilität und erhöhte Genauigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen.
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