Gebraucht VARIAN EHP-500 #9215996 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9215996
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Medium current ion implanter, 8"
Mirror 60 Kv PSu: E110002
Gas box configuration:
Gas box type: SDS
Gas line 1 = PH3
Gas line 2 = AsH3
Gas line 3 = BF3
Gas line 4 = Ar
Pumps configuration:
VARIAN V300HT Resolver turbo pump
Endstation CRYOPUMP CTI on-board 10
CTI 9600 Compressor
Loadlock turbo pump VARIAN V300HT
EBARA Endstation dry pump: 50 x 20
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Electrical facility requirements
208 V, 3 Phase, 5 wire 43.2 KVA 120 FLA
200A Main CB 42,000 AIC 60 Hz
75A Maximum single load
250kV Maximum beam energy
1998 vintage.
VARIAN EHP-500 ist ein hochpräziser Ionenimplantator und Monitor. Dieses Hochleistungsinstrument verwendet eine Ionenquelle, ein Hochspannungsnetzteil, einen Extraktor, einen Abtastmagneten, eine Ablenkbaugruppe, einen Faraday-Becher und einen Strahlmonitor. Die Ionenquelle erzeugt energiereiche Ionen, die dann durch die Hochspannungsversorgung auf die gewünschte Energie beschleunigt werden. Diese Energie wird dann durch den Extraktor optimiert, der eine magnetische Baugruppe ist, die zur Steuerung des Ionenstrahls verwendet wird. Der Abtastmagnet ist eine Baugruppe, die zur Steuerung und Abtastung des Ionenstrahls verwendet wird, während die Ablenkbaugruppe zur Gestaltung der Flugbahn des Ionenstrahls verwendet wird. Als nächstes durchläuft der Strahl einen Faraday-Becher, der die Intensität des Strahls misst. Schließlich durchläuft der Ionenstrahl den Strahlwächter, der eine Rückkopplung von Strom, Spannung und Energie des Strahls liefert. Die Fähigkeit dieses Instruments, den Ionenstrahl zu steuern, zu überwachen und zu formen, macht es zu einer idealen Wahl für die hochpräzise Ionenimplantation und -überwachung.
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