Gebraucht VARIAN EHP-500 #9315482 zu verkaufen

VARIAN EHP-500 Ionen-Implantierer und -Monitor ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor mit einer breiten Palette von Funktionen. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Implantation und Präzisionsprozesssteuerung in niedrigem und Hochleistungszyklus bereitzustellen. VARIAN EHP500 kann als Stand-Alone-Implantierer oder als Prozesssteuergerät konfiguriert werden und ermöglicht maximale Leistung und Flexibilität. EHP 500 nutzt eine Reihe fortschrittlicher Technologien, darunter ein hochauflösendes digitales Ionenenergiespektrometer und ein digitales Massenspektrometer zur schnellen, genauen Messung von implantierten Ionenarten und -dosen. Darüber hinaus verfügt dieses System über eine hochfeste Partikel-Match-Engine, die es dem Anwender ermöglicht, den Implantationsprozess schnell und effizient für optimale Gleichmäßigkeit und Präzision zu optimieren. EHP-500 verfügt auch über erweiterte optische Ionenfunktionen und eine WDR-Steuerung (Wide Dynamic Range), um die Implantation variabler Strahlscans für Gleichmäßigkeit und Präzision zu ermöglichen. VARIAN EHP 500 verwendet eine Reihe fortschrittlicher automatisierter Funktionen, die eine hohe Genauigkeit sowohl für die Implantation als auch für die Prozesskontrolle bieten. Das System verwendet einen programmierbaren Hoch-/Niederspannungsgenerator und ein Hochgeschwindigkeits-Autostep-Modul für die Implantation mit variabler Rate. Die hochleistungsfähige, kompakte Ionenquelle ermöglicht die Implantation von niederenergetischen Ionen mit hohen Raten bei überlegener Positionsgenauigkeit. EHP500 bietet auch eine präzise Nachimplantationsreinigung des Wafers. VARIAN EHP-500 System bietet auch eine Vielzahl von Überwachungsfunktionen, einschließlich der Möglichkeit, den Prozess und seine Parameter fernzuüberwachen, sowie Echtzeit-Feedback auf den Implantationsprozess zu liefern. Diese Überwachungsfunktion wird durch einen erweiterten integrierten Datenlogger, der alle mit dem Implantationsprozess verbundenen Prozessparameter und Ergebnisse aufzeichnet, weiter verbessert. Auf diese Daten kann dann über eine Ethernet-Schnittstelle aus der Ferne zugegriffen und analysiert oder mit einer optionalen Benutzeroberfläche fernüberwacht werden. Insgesamt ist VARIAN EHP500 Ion Implanter and Monitor ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der dem Anwender maximale Prozesskontrolle, Präzision und Flexibilität bietet. Es integriert erweiterte ionenoptische Funktionen, eine breite Dynamikbereichssteuerung und einen erweiterten integrierten Datenlogger für optimale Leistung und optimale Implantationsergebnisse.