Gebraucht VARIAN / GENUS 1510 / 1520 #9228263 zu verkaufen

GENUS 1510 und 1520 sind Geräte zur Implantation und Überwachung von Ionen in ein Substrat. Sie sind für den Einsatz in Halbleiter- und nanotechnologiebasierten Fertigungsprozessen konzipiert. Der 1510 liefert einen fokussierten Ionenstrahl, der genau in das Substrat implantiert wird, während der 1520 ein Ionensiphon-Monitor ist, der verwendet wird, um die Parameter des implantierten Strahls zu messen, um die höchste Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu gewährleisten. VARIAN 1510 verfügt über eine Dualkathoden-Technologie, die eine unabhängige Steuerung jeder der beiden Anoden im Substrat sowie eine gleichmäßige Verteilung der Ionen über die Oberfläche ermöglicht. Dies gewährleistet eine gleichmäßige und gleichmäßige Implantation während des gesamten Prozesses. Zu den wichtigsten Merkmalen gehören ein selbstausrichtendes Strahlausrichtungssystem für verbesserte Strahlgenauigkeit, eine einstellbare Implantatenergie für verschiedene Substrate und eine angepasste Prozesszeit für eine schnellere Substratverarbeitung. Der 1520-Ionen-Monitor hingegen verfügt über ein empfindliches und zuverlässiges Ionen-Gate, das eine präzise Messung des Ionenstroms und der Ionen-Flussrate des implantierten Strahls ermöglicht. Dies trägt zur Gewährleistung der Prozessgenauigkeit bei und ist für die Erzielung hochwertiger Halbleiterbauelemente unerlässlich. Die 1520 kann auch zur Messung des positiven/negativen Gesamtflusses, der Peak-to-Peak-Dicke und der Ionenqualität des Implantats verwendet werden. Abschließend sind VARIAN/GENUS 1510 und 1520 wesentliche Werkzeuge für die Ionenimplantation und Prozessüberwachung in der Halbleiter- und Nanotechnologie. Ihr präziser, genauer und wiederholbarer Betrieb sorgt dafür, dass hochwertige Geräte mit minimalem Aufwand hergestellt werden können. Aus diesen Gründen sind sie ein wesentlicher Bestandteil des Toolkits eines Prozessingenieurs.