Gebraucht VARIAN / GENUS 1520 #293642980 zu verkaufen
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VARIAN/GENUS 1520 Ionenimplantator und Monitor ist ein fortschrittliches System zum Implantieren von Ionen in Halbleitermaterialien. Es ist in der Lage, die Ionenabgabe genau zu kontrollieren und die Verwendung verschiedener Implantatenergien, Arten, Losgrößen und Dosisraten zu ermöglichen. GENUS 1520 verfügt auch über vollständige Automatisierungsoptionen, so dass mehrere Implantate mit minimaler Bedienerbeteiligung durchgeführt werden können. Das System bietet eine extrem genaue Dosissteuerung, die sehr wiederholbare Implantatdosen ermöglicht. Dies ermöglicht es Anwendern, Implantate mit konsistenten Ergebnissen herzustellen, wodurch das Risiko einer kostspieligen Partikelschädigung von Siliziumsubstraten reduziert wird. VARIAN 1520 ist mit der neuesten Überwachungs- und Prozesssoftware ausgestattet und somit ein umfassendes Werkzeug für die fortschrittliche Ionenimplantation. 1520 nutzt die HF-basierte Hochspannungsfähigkeit von GENUS Rexolite und SHI Thalium Zielen. Dies ermöglicht eine hohe Stromzufuhr und hohe Substratdotierungsraten bei minimierter thermischer Schädigung. Die Ionenquellenbaugruppe versorgt das Target mit Ionen und besteht aus einem Paar Extraktionselektroden, einer Quelle und einer Abtastspule. Die Abtastspule dient zur Profilierung des Implantats und kann optimiert werden, um ein stark lokalisiertes Implantatprofil zu erreichen. VARIAN/GENUS 1520 bietet auch eine Reihe von Ionenauswahl (Isolierung) Optionen, wie Massenanalyse, Ladungsstripping und mehrere Arten Implantate. Durch Massenanalysemöglichkeiten kann die Auswahl spezifischer Ionenarten implantiert werden, während die Option Ladungsabstrippen verwendet werden kann, um die Substratdotierung mit Kontamination zu reduzieren. Die Implantatoption für mehrere Arten ermöglicht eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Implantation von zwei oder mehr Arten. GENUS 1520 ist ein leistungsstarkes System zur Herstellung komplexer, hochwertiger mikroelektronischer Geräte. Mit seinen Automatisierungs- und Implantatsteuerungsfähigkeiten ist es ein wertvolles Werkzeug für die Herstellung von Qualitätswafern. Es ist die ideale Wahl für Anwender, die hochwiederholbare Implantate mit minimierten Substratschäden herstellen möchten.
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