Gebraucht VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209301 zu verkaufen

ID: 9209301
Power supply P/N: 44470-00.
GENUS G1510 & G1520 Ion Implanter & Monitor ist ein hochmoderner Beschleuniger für geladene Teilchen, der zum Implantieren von Ionen in eine Vielzahl von Materialien verwendet wird. Dieses hochmodulare, computergesteuerte System umfasst sowohl eine Ionenquelle als auch eine Strahlüberwachungskamera, die eine präzise Steuerung und Genauigkeit des Ionenimplantationsprozesses ermöglicht. Die Ionenquelle ist eine Duoplasmatronenquelle, die Ionen verschiedener Arten produziert, darunter Argon, Sauerstoff, Phosphor und Silizium. Diese Quelle ermöglicht eine breite Palette von Ionenenergien und Strahlstromstärken, so dass die G1510 & G1520 für verschiedene Arten der Ionenimplantation geeignet sind, wie zum Beispiel energetisch angepasste Implantation oder Energiespreisimplantation, was Anwendungen wie RF MEMS oder radarempfindliche MEMS ermöglicht. Die Strahlüberwachungskamera kann zur Erkennung und Überwachung des Ionenstrahls verwendet werden, so dass der Bediener die gewünschten Einstellungen bestätigen und den Implantationsprozess in Echtzeit überwachen kann. Die Kamera kann auch Rückkopplung auf verschiedene Strahlparameter, wie Strahlfleckgröße, Strahlübertragung und Strahlfehlstellung. Dies wiederum ermöglicht eine verbesserte Bedienerführung des Implantationsprozesses, wodurch die gewünschte Ionendosis erreicht wird. Die G1510 & G1520 Systeme sind hochautomatisiert und verfügen über eine integrierte Bedienoberfläche, die einen einfachen Zugriff auf alle Geräteparameter und Maschinenfunktionen ermöglicht. Die Benutzeroberfläche bietet auch Alarm- und Überwachungsfunktionen, so dass das System fernüberwacht und angepasst werden kann. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Kalibriermodul eine automatische Ausrichtung für jede Quelle und gewährleistet eine genaue Ionenimplantation für jeden Lauf. Die G1510 & G1520 sind sowohl in offenen als auch in geschlossenen Rahmenkonstruktionen erhältlich und ermöglichen die Installation in traditionellen Labor- und OEM-Anwendungen. Darüber hinaus sind die Systeme auf eine Vielzahl von Sicherheits- und Betriebsstandards wie CE und SEMI 2336 ausgelegt. Insgesamt sind VARIAN G1510 & G1520 Ion Implanter & Monitor hochleistungsfähige, sehr vielseitige Systeme, die in der Lage sind, eine Vielzahl von Ionen bei verschiedenen Energien präzise zu implantieren. Die Hinzufügung automatisierter Funktionen wie Kamera und Kalibriermodul erhöht seinen Zweck weiter und bietet eine verbesserte Bedienung und Sicherheit. Die vielfältige Anwendung und das Leistungsspektrum machen die G1510 & G1520 zu einer hocheffizienten, zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für Implantationsanwendungen.
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