Gebraucht VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209306 zu verkaufen

GENUS G1510 und G1520 sind fortschrittliche Ionenimplantatoren und Monitore für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Sie bieten hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit bei der Implantation einer Vielzahl von Ionenimplantationsprozessen. Das G1510 ist ein 130 keV Dual-Ionen-Source-Implantierer und -Monitor, der für hohen Durchsatz und wiederholbare Dopingraten ausgelegt ist. Es umfasst eine ölfreie, keramisch ausgekleidete Vakuumkammer, die ein hohes Maß an Vakuum zur Ionenkontaminationskontrolle liefert. Die beiden Ionenquellen, ein Breitstrahl und ein fokussierter Strahl, liefern eine gleichmäßige Energieverteilung, die schnellere Zykluszeiten und eine bessere Dotierstoffkontrolle ermöglicht. Das G1520 ist ein dreiquelliger, 120 keV-Ionen-Implantierer und -Monitor, der auf die Anforderungen von High-End-Halbleiteranwendungen zugeschnitten ist. Seine hochauflösende photoelektrische Quelle bietet die Flexibilität, selektiv bis zu drei verschiedene Dotierstoffe zu implantieren. Dies ermöglicht die Optimierung der Implantatdosis und Energie. Darüber hinaus bietet die G1520 eine hervorragende Stabilität und Genauigkeit über eine Vielzahl von Implantatparametern und ist damit die ideale Lösung für kritische Dotierstoffanwendungen. Sowohl die G1510 als auch die G1520 verfügen über ein optionales Computerüberwachungssystem, mit dem Benutzer Implantatparameter auf einem Computer verwalten und aufzeichnen können. Dieses System unterstützt auch die Fernsteuerung und Überwachung von Implantatprozessen über ein sicheres Netzwerk. Neben hervorragenden Ionenimplantationsmöglichkeiten bieten G1510 und G1520 verschiedene Prozessoptionen wie benutzerdefinierte Implantatfenster, Dual-Energy-Implantation, Implantate mit variabler Zeit und Delta-Dosimetrie. So können Anwender den Implantatprozess auf ihre speziellen Anwendungsbedürfnisse abstimmen. Die G1510 und G1520 bieten auch eines der umfassendsten Sicherheitspakete auf dem Markt. Beide Maschinen sind mit einem Sicherheitsverriegelungsschalter ausgestattet, der das System beim Öffnen der Sicherheitsabdeckung deaktiviert und den Sicherheitsnormen EN 291, EN292 und EN 60204 entspricht. Insgesamt sind VARIAN G1510 und G1520 fortschrittliche Ionenimplantatoren und Monitore, die eine hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen bieten.