Gebraucht VARIAN HC Disk for VIISion #9220932 zu verkaufen
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VARIAN HC Disk für VIISion ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der entwickelt wurde, um die Prozesskontrollgenauigkeit und den Durchsatz zu erhöhen. Die HC Disk ist ein Wafer-Handling-System, das mit der VIISion Suite von Werkzeugen kompatibel ist, wie Hochstrom- und Ultrastrom-Implantierer, Inline-Deposition-Systeme und Abscheideausrüstung. Es bietet eine robuste, einfach zu bedienende Schnittstelle zur Anpassung aller Parameter für Implantate und Post-Implantate vor Ort. Die Verwendung der HC Disk ermöglicht es Verfahrensingenieuren, die Implantatbedingungen und -parameter präziser zu steuern und so den Ertrag und die Qualität der Implantationsprozesse zu erhöhen. Die offene Architektur ermöglicht es Benutzern, die HC-Festplatte mit jeder Hardware und Software zu integrieren und bietet eine optimale Kompatibilität mit bestehenden Systemen und Geräten. Seine einfache Konstruktion basiert auf einem zweiteiligen Ring, der leicht austauschbare Teile ermöglicht. Die HC Disk kombiniert Ionenstrahlabgabe und Wafer-Präsentation zu einer Einheit. Es verfügt über eine breite Palette von Bewegungssteuerungstechniken, einschließlich dynamischem Scannen, festem Scan und 3-Achsen-Neigung. Der dynamische Scan ermöglicht die Kontrolle des Endpunkts, der Dosis und der Richtung des Strahls, während der feste Scan eine schnelle und präzise Kontrolle der Implantatparameter ermöglicht. 3-Achsen-Neigung bietet überlegene Kontrolle der Flachheit und Ausrichtung des Wafers. Die HC Disk verfügt zudem über eine patentierte Aufschubverbindung, die eine schnelle und mühelose Befestigung der implantierbaren Disks ermöglicht. Die HC Disk wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Implantatparametern und Wafergrößen mit Leichtigkeit zu handhaben. Es kann auch eine Vielzahl von Implantatquellen, wie Kristalle und Filme. Die HC Disk ist reinraumkompatibel und bietet eine klare und präzise Visualisierung von Implantat-Prozessparametern. Die HC Disk wird von einer Reihe fortschrittlicher Tools unterstützt, darunter 3D-Visualisierungssoftware, Offline-Software für Simulationen und eine Vielzahl von Überwachungstools auf Systemebene. Dank der integrierten Unterstützungssysteme können Anwender den Implantatprozess überwachen und verwalten sowie kritische Parameter anpassen. Die Integrationssoftware unterstützt auch die Fernbedienung und bietet Fernzugriff auf den gesamten Implantatprozess von jedem Ort aus. HC Disk für VIISion ist ein leistungsstarker und flexibler Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um die Prozesskontrolle zu maximieren und Ausfallzeiten zu reduzieren. Seine einfache Bedienung, seine robuste offene Architektur und sein breites Spektrum an Automatisierungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für jeden Implantatprozess.
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