Gebraucht VARIAN Solion+ #9130269 zu verkaufen
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ID: 9130269
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
High current implanters, 12"
S2 Compliant
Chiller
(2) Cryo pumps
(4) Turbo pumps
(3) Dry pumps
2011 vintage.
VARIAN Solion + ist eine hochmoderne Ionenimplantations- und Überwachungsanlage zur Präzisionskontrolle von Ionenstrahlimplantaten. Es besteht aus einem Wafer-Handler, Implantat und Monitor, Strahlmanipulationssystem, RF-DC Hybrid-Separator und Ziel/Elektronenkanone. Der Wafer-Handler enthält einen motorisierten Mechanismus, um mehrere Wafer in der Ebene und außerhalb der Ebene zu bewegen. Der Implantierer umfasst eine hochintensive Multimodus-Ionenquelle, eine ausgeklügelte Fokussiereinheit und eine breite Palette von Zubehörkomponenten für die Implantation verschiedener Ionenarten. Der Monitor enthält eine fortschrittliche Strahlprofil-Überwachungsmaschine, die visuelle Rückmeldung und Kontrolle in Echtzeit bietet. Das Strahlmanipulationswerkzeug umfasst eine leistungsstarke Steuerung für Positions- und Energieabtastung sowie eine breite Palette von Strahlmanipulationskomponenten zur präzisen Steuerung der Implantatbedingungen. Der RF-DC Hybridabscheider ist für eine überlegene Auflösung ausgelegt und kann sowohl für die positive als auch negative Ionenimplantation mit einem Spannungs- und Trennspannungsbereich verwendet werden. Das Target/Electron Gun Modell ermöglicht eine optimale Analyse des gewünschten Ionenimplantatprofils. Solion + bietet ein hohes Maß an Kontrolle und Flexibilität, so dass Benutzer ihre Ionenimplantatbedingungen für jede einzigartige Anwendung anpassen können. Parameter wie Spannung, Strom, Strahlenergie, Strahlfleckgröße, Strahlungsintensität und Beamlet-Position können zur Feinabstimmung des Implantatprofils eingestellt werden. Das Gerät bietet auch eingebaute Sicherheitsfunktionen wie Überspannungsschutz und Netzstromversorgung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Abschließend ist VARIAN Solion + ein leistungsfähiges Ionenimplantat- und Überwachungssystem, das eine überlegene Kontrolle und Flexibilität für eine präzise Implantatkonditionierung bietet. Mit seiner ausgeklügelten Strahlmanipulationseinheit, dem RF-DC-Hybridabscheider und der Ziel-/Elektronenkanone bietet Solion + eine breite Palette von Optionen, um die Implantatbedingungen für jede Anwendung anzupassen.
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