Gebraucht VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON FBR II / HPS-T001 / HT II #9187207 zu verkaufen
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ID: 9187207
Weinlese: 1996
Ion implant system
High voltage power supply
HV FBR HPS
Accel: +120KV x 50 mA
Decel: ±60KV x 50 mA
Isolation: 115/230V
Line: 208V
FBR Unit: FBR11
E1 HV Unit: HFT11
E2 HV Unit: HFT12
Isolation transformer unit: HT11
Single phase
50/60 Hz
4 kVA
Primary: 208V
Secondary: 115/230
1996 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON FBR II/ HPS-T001/HT II ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der von TEL, einem führenden Anbieter von Halbleiterherstellungsgeräten, entwickelt und hergestellt wurde. Das Gerät soll die Geschwindigkeit und Genauigkeit der Herstellung von Halbleiterbauelementen erhöhen. Der FBR II ist ein effizientes und zuverlässiges Ionen-Implantier- und Überwachungsgerät, das die Faraday Cage Technologie nutzt. Es verfügt über einen vertikalen Faraday-Käfig, der die Ionenstromgenauigkeit erhöht, und eine einzigartige spiralförmige Induktionslinse, die Ionen gleichmäßig dispergiert und die Gleichmäßigkeit innerhalb der Applikationskammer maximiert. Die hohe Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit des FBR II bieten schnelle und präzise Prozesse für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Neben der Ionenimplantation verfügt der FBR II auch über ein integriertes Überwachungssystem. Diese Überwachungseinheit verwendet eine Vielzahl von Sensoren und Signalen innerhalb des Werkzeugs, so dass sie verschiedene Parameter wie Temperatur, Verschmutzung und Substrateigenschaften messen kann. Die Überwachungsmaschine kann verwendet werden, um die Gesamtprozessgenauigkeit zu verbessern und mögliche Ausfälle vorherzusagen. Der FBR II verfügt zudem über eine breite Palette an Zubehör und Komponenten, die eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen für Halbleiterbauelemente ermöglichen. Es kann für eine Vielzahl von Verfahren, wie Implantation, Photolackstreifen, Glühen, Vakuumabscheidung und Wafertest verwendet werden. Die FBR II umfasst auch eine Reihe weiterer Komponenten wie einen Substratübertragungsmechanismus, eine Inline-Substratheizung und eine programmierbare Driftschraube. Insgesamt ist TEL FBR II/ HPS-T001/HT II ein effizientes und zuverlässiges Ionen-Implantier- und Überwachungswerkzeug, mit dem die Geschwindigkeit und Genauigkeit der Halbleiterbauelementproduktion erhöht werden kann. Es verfügt über einen fortschrittlichen Faraday-Käfig und ein einzigartiges schraubenförmiges Induktionsobjektiv, das Präzision und Zuverlässigkeit bietet, ein integriertes Überwachungsobjekt, das bei der Prozesskontrolle und -wartung hilft, und eine Reihe von nützlichem Zubehör. All diese Merkmale tragen zur Zuverlässigkeit und Wirksamkeit des FBR II für eine Reihe von Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen bei.
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