Gebraucht VARIAN VIISion 80 #9039557 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9039557
High current ion implanter, 8"
Safe Gas Delivery System
Cryo, fourth implant chamber
SECS II automation
Two dimensional beam profiler
Angled implant, automatic
Classic End Station
With the addition of: Zero integral magnetic faraday
Includes:
+7 to -7 degree wafer tilt angle.
Plasma flood gun.
Horizontal wafer handling.
Full system automation.
Operator touch screen.
Tungsten Bernas ion source.
Silicon coated disc and spillover cup.
3 light signal tower
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80 ist ein hochenergetischer Ionenimplantator mit hohem Durchsatz, der für den Einsatz in der Halbleiter- und Mikroelektronikproduktion bestimmt ist. Es ist für Anwendungen konzipiert, bei denen die Implantatdosis, die Energie und die Fließfähigkeit der Ionen eng und genau kontrolliert werden müssen. VIISion 80 ermöglicht die Ionenimplantation unterschiedlichster Materialien mit einer Vielzahl von Strahlkonfigurationen, die eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit aufweisen. VARIAN VIISion 80 verwendet eine Tetrode, eine parallele Elektronenkanone und eine geteilte Strahlkathodenanordnung, um bis zu 80kW Ionenimplantationsenergie zu liefern. Die Pistole arbeitet mit einer neutralen Energie von 5-200 kV und liefert maximal 15mA Strahlstrom. Die Pistole ist in der Lage, Ionen von 2 bis 254 amu zu liefern, mit einem Energiebereich von 100 keV bis maximal 80kV. Die Ionenstrahl-Punktgröße kann zwischen 0,3-1,0 mm konfiguriert werden. Das Gerät verfügt über ein Leistungsmodul mit hoher Kapazität, das zuverlässige, wiederholbare und hochgenaue Implantatfunktionen bietet. Es bietet auch benutzerdefinierbare Implantatprofile, die optimierte Ionenimplantate ermöglichen. Das System umfasst eine Abtaststrahlstromregelung, die wiederholbare, gleichmäßige Implantatergebnisse erzielen kann. VIISion 80 verfügt zudem über eine einzigartige Überwachungseinheit, die die Messung und Steuerung von Hintergrundstrom, Kammerleistung, Strahlstrom und Implantatgleichförmigkeit ermöglicht. Diese Überwachungsmaschine ist entscheidend, um hochpräzise, wiederholbare Implantatoperationen zu gewährleisten. Das Monitor-Tool bietet zahlreiche Selbstdiagnosen, die die Operatoren auf Anomalien oder Fehler aufmerksam machen. Schließlich ist VARIAN VIISion 80 mit Blick auf die Sicherheit konzipiert, mit einer Sicherheitsverriegelung, die den Zugang zu Hochspannungskomponenten sowie einen Masseanschluss für eine ausreichende elektrische Sicherheit blockiert. Das Modell enthält außerdem mehrere Hardware- und Softwarekomponenten, die einen zuverlässigen Betrieb gewährleisten und das Verletzungsrisiko reduzieren sollen. Abschließend ist VIISion 80 ein hochgenauer Ionenimplantator, der in der Lage ist, Ionen über eine breite Palette von Energien zu liefern und eine einzigartige Überwachungsausrüstung zu verwenden, um wiederholbare, einheitliche Implantatoperationen sicherzustellen. Das System ist einfach zu bedienen, aber sehr zuverlässig und sicher. Mit seiner hochmodernen Stromversorgung eignet sich VARIAN VIISion 80 gut für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Produktion.
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