Gebraucht VARIAN VIISion 80 #9108723 zu verkaufen
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VARIAN VIISion 80 ist eine technologisch fortschrittliche Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung für maximale Effizienz und Produktivität. Es ist vielseitig einsetzbar und passt sich leicht an eine Vielzahl von Anwendungen an, einschließlich Hochdurchsatzproduktion, Mitteldosis-Geräten und Geräten mit niedriger Dosis mit extrem engen Spezifikations- und Ertragsanforderungen. Das System ermöglicht die gleichzeitige Implantation und Überwachung mit einem Strahlstrom von bis zu 2000 Mikroampere und einem Energiebereich von 12-300keV. Unter Verwendung eines Hochspannungsgenerators und eines Implantatverstärkers hat das Gerät eine bemerkenswerte Abtastrate von 300 kHz, so dass es Ionen bei hohen Geschwindigkeiten und mit hoher Präzision liefern kann. Ein durchdachter Strahlverschluss ermöglicht schnelle Anlauf- und Abschaltzyklen, wodurch die für die Einstellung und den Betrieb benötigte Zeit reduziert wird. VIISion 80 verfügt über einen 25-stufigen virtuellen Massenfilter zur genauen Energieauswahl und eine Vielzahl von Profilen für ladungskompensierte Implantate und Gas-Implantationen. Für die Zielgenauigkeit wurde die Maschine mit wenigen Parametern wie Standort, Form, Spannung und Zeit-zu-Zeit-Variation ausgelegt. Eine präzise Strahlabbildung wird durch den Einsatz eines Multifeld-optischen Werkzeugs in Kombination mit einer Halbleiterkamera erreicht. Die einspaltige Abbildungsoptik erleichtert auch die Einstellung des Strahlengangs, um einen optimalen Fokus zu erzielen und verschiedene Wafergrößen und Oberflächen unterzubringen. VARIAN VIISion 80 bietet auch fortschrittliche Asset-Monitoring und Diagnose. Durch die Messung der Strahlspannung, des Stroms und der Temperatur kann das Modell eine detaillierte Rückmeldung des Implantatprofils liefern und bei Bedarf Anpassungen vornehmen. Eine automatisierte Steuerung ermöglicht die Fernbedienung des Systems, was eine erhöhte Prozessskalierbarkeit und Flexibilität ermöglicht. Schließlich enthält die Maschine eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen zum Schutz von Personal und Ausrüstung. Insgesamt ist VIISion 80 eine hochentwickelte und effiziente Ionenimplantator- und Monitoreinheit. Seine hohe Leistung und Präzision sind in einer Vielzahl von Anwendungen unverzichtbar, von der Hochdurchsatzproduktion bis hin zu Low-Dose-Geräten mit extrem engen Spezifikationen. Darüber hinaus machen seine fortschrittliche Überwachungsmaschine und Sicherheitsfunktionen es zu einer idealen Wahl für den Schutz von Personal und Ausrüstung.
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