Gebraucht VARIAN VIISion 80 #9162800 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9162800
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Ion implanter, 8"
L/L Dry pump type: VARIAN Tri scroll pump
Source / Beam line turbo pump:
PFEIFFER TMH1601P
LEYBOLD MEG W1300
L/L Turbo pump: VARIAN V250
Process chamber: (4) CTI 250F Cryopumps
Gas channel 1: AsH3 Gas VCR 1/2" high pressure
Gas channel 2: PH3 Gas VCR 1/2" high pressure
Gas channel 3: Ar Gas CGA580 high pressure, UFC-8160
Gas channel 4: BF3 Gas CGA330 high pressure, UFC-8160
PFG Gas: Xe Gas CGA580 high pressure, UFC-8160
Memory upgrade: Yes
Main CB: 90 Amps
CVCF CB: 50 Amps
Auto disc angle motor: Yes
Host: SECS
Throughput (WPH): N6, 230 WPH
Disc site type hook site: (13) Sites
Elevator type modified 25
Lower slide pin: Yes
Laser align kit: No
W/H align kit: No
Remote pallet: No
Utility supply type: Bottom
Power 208 VAC, 3 Phase, 5 wire, 50/60 Hz, 35 kVA
Water: 40~100 psi
Air: 90~125 psi
PN2: 50~100 psi
GN2: 50~100 psi
Exhaust: 1600 cfm
Missing parts:
(4) Gasbox bushings
Source head assembly
Arc chamber assembly
Vapour end cap plate
Gas line
Dip seal pump
Beamline turbo pump set
Turbo pump
Power cable
Controller
Terminal RDAC board
Analyzer gauss probe
Rotary slit assembly
Remote rack
DI Colling system
PCW Manifold
(2) Cryo compressors
(2) Dry pumps: IQDP 80
Remote rack accesory
End station turbo pump set
Signal tower
External AC filter
Disc assembly
Spin drive assembly
Main drive shaft stand plate
Main drive shaft
Spin magnet assembly
Rotary union
Resolver shaft assembly
Encoder shaft assembly
Main pulley
(2) Resolvers / Encorder pulleys
(2) Belts
Spin magnet guide plate
(8) Plate stand blocks
(2) Spilcover cup cooling bellows
Currently de-installed and warehoused
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80 ist ein Ionenimplantierer und -monitor von VARIAN Semiconductor Equipment Associates. VIISion 80 ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Werkzeug zum Implantieren, Überwachen und Analysieren von Ionen während der Herstellung von Halbleiterbauelementen. VARIAN VIISion 80 verfügt über eine hochentwickelte und intuitive Benutzeroberfläche, die alle notwendigen Anzeige-, Steuer- und Messfunktionen zu einem einzigen Gerät kombiniert. VIISion 80 nutzt eine breite Palette von Sensoren und Detektoren, um die Implantation genau zu steuern und den Ionenbeschuss-Prozess zu überwachen. Dieses Gerät verfügt über eine einstellbare Hochspannungsanode, die die Implantation von positiven und negativen Ionen in Tiefen bis zu 0,5 Mil ermöglicht. Es nutzt auch eine eingebaute aktuelle Überwachungsoption, die es den Betreibern ermöglicht, sicherzustellen, dass ihr Implantationsprozess immer unter ihrem gewünschten Kontrollniveau ist. VARIAN VIISion 80 ermöglicht eine einfache Integration in bestehende automatisierte Prüf- und Halbleiterfab-Geräte. Dieses System ist auch kompatibel mit anderen Ionenquellen, wie Metallverdampfung oder Silanquellen, so dass es ideal für eine vielseitige Palette von Implantationsanforderungen. Zusätzlich zu seinen robusten Implantationsmöglichkeiten verfügt VIISion 80 über eine einzigartige Überwachungseinheit, mit der es Ionenstromstufen in Echtzeit zurücklesen kann. Diese Maschine umfasst einen ultraschnellen Breitband-Mikrokanal-Plattendetektor und ein kompaktes Bedienpult mit einem großen LCD-Display, das dem Anwender einen umfassenden Überblick über den Implantationsprozess bietet. Für mehr Sicherheit und Komfort verfügt VARIAN VIISion 80 über einen speziellen Sicherheitsmonitor, der den Bediener über Unregelmäßigkeiten während des Implantationsprozesses wie eine Überspannung oder einen unerwarteten Stromstoß informiert. Das Werkzeug verfügt auch über einen einstellbaren kV-Monitor auf Bodenniveau, der individuell kalibriert wird, um wiederholbare Implantationsergebnisse zu gewährleisten. Zusammenfassend ist VIISion 80 ein etablierter Ionenimplantator und -monitor, der für präzise Steuerung und Flexibilität bei allen Anforderungen an die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Mit fortschrittlichen Sensoren, intuitiver Benutzeroberfläche und spezieller Sicherheitsüberwachung ist VARIAN VIISion 80 ein effektives und sicheres Werkzeug zum Implantieren und Analysieren von Ionen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor