Gebraucht VARIAN VIISion 80 #9181390 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9181390
Ion implanter, 8"
Vacuum pump:
Terminal dry pump type: terminal, Edwards iQDP80
Chamber dry pump type: terminal, Edwards iQDP80
L/L dry pump type: V300HT
Gas system:
Gas / Connection Type
Gas channel #1: AsH3 gas SDS, 3.4L high pressure
Gas channel #2: PH3 gas SDS, 3.4L high pressure
Gas channel #3: Ar gas high pressure, 3.4L high pressure
Gas channel #4: BF3 gas high pressure, 3.4L high pressure
PFG gas: Xe gas CGA580
Utility:
Supply type: bottom
Compressor: CTI 8500
Wafer handler: enhancement type
Main monitor: LCD
Exhaust: duct box
Source head: Bernas
Tilter +/- 7 degrees, signal tower
Missing parts:
L/L chamber turbo pump
Elevator3 digital I/O PCB
(4) Chamber cryo pumps
Disk assy
Source turbo controller
E/S controller CPU boards
Source turbo pump
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80 ist ein Ionenimplantator und -monitor zur Herstellung von ionisierten Materialien und zur Überwachung von Ionenimplantatprozessen. Es ist ein Werkzeug, das verwendet wird, um eine breite Palette von Dotierungsprofilen zu verarbeiten, die für mehrere Anwendungen entwickelt wurden, von gängigen Halbleitermaterialien bis hin zu fortgeschrittenen Verbundhalbleitern. Darüber hinaus bietet VIISion 80 beispiellose Durchsatzraten, Präzision und Genauigkeit für eine optimale Ionen-Implantat-Prozesssteuerung. VARIAN VIISion 80 besteht aus zwei getrennten Komponenten: dem Ionenstrahlgenerator und dem Bedienpult. Der Ionenstrahlgenerator ist eine verlustarme, hochzuverlässige, rauscharme und vibrationsarme Ionenquelle, die den Ionenimplantatprozess extrem zuverlässig macht. Diese Ionenquelle ist in der Lage, einen nahezu kontinuierlichen Strahl von Ionen zu erzeugen, die ausreichend stabil sind, um eine exakte Steuerung des Implantats zu ermöglichen. Die Steuerkonsole ist die Befehlszentrale für den Implantierer und für die Steuerung, Überwachung und Durchführung des Implantatprozesses zuständig. Es besteht aus einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und programmierbaren Logikcontrollern (SPS), die es dem Benutzer ermöglichen, Implantatparameter zu steuern, den Implantationsprozess zu überwachen und die Ergebnisse für eine spätere Überprüfung zu speichern. VIISion 80 bietet dem Anwender maximale Prozesskontrolle mit modernsten Fertigungstechniken und ausgefeilter Instrumentierung. Um die höchste Qualität und Genauigkeit der Implantation zu gewährleisten, verwendet VARIAN VIISion 80 eine Multiple Source-Technik für erhöhte Strahlstabilität und beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Implantatdosierung. Die Mehrfachquelltechnik erhöht auch die Lebensdauer der Quelle sowie die allgemeine Prozesssicherheit. VIISion 80 bietet zudem eine hervorragende Ionen-Implantat-Selektivität, die fein abgestimmte Dopingprofile mit einer breiten Palette von Dopingregimes ermöglicht. Dies bietet dem Anwender eine beispiellose Flexibilität und Kontrolle über seine Implantatprozesse. VARIAN VIISion 80 ist auch in der Lage, einen Hochstromstrahl mit maximalem Strahlstrom von bis zu 3.5A zu liefern. Darüber hinaus ermöglicht die Schnittstelle der Steuerkonsole die Echtzeitsteuerung von Strahlströmen und Spannungspegeln. Abschließend ist VIISion 80 ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der eine maximale Prozesskontrolle und Genauigkeit mit beispielloser Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. VARIAN VIISion 80 bietet Funktionen wie Mehrfachquellentechnik und Hochstromstrahlabgabe, die maximale Flexibilität und Kontrolle über den Implantatprozess gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht die intuitive Bedienoberfläche eine einfache Implantatsteuerung, -überwachung und -überprüfung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor