Gebraucht VARIAN VIISion 80 #9257909 zu verkaufen

VARIAN VIISion 80 ist eine dreiachsige Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung für automatisierte Implantationsprozesse in der Halbleiterherstellung. Es ist ein robustes System mit In-situ-Überwachungssensoren zum Überdosisschutz und zur Überwachung der Tiefenkontrolle. Es ist für ultrahohe Dosen ausgelegt und kann sowohl für die Mittel- als auch für die Niederspannungsimplantation verwendet werden. VIISion 80 verfügt über eine dreiachsige Bewegungssteuerung mit einer maximalen Geschwindigkeit von 60 m/min, die schnelle Implantationszeiten für größere Öfen gewährleistet. Die Maschine verfügt außerdem über einen Hochleistungs-Zweistrahl-Implantierer für die Mittel- und Niederspannungsimplantation. Die elektrischen Feldlinien werden durch das fortschrittliche elektrische Feldverteilungs- und Ausrichtungsdesign minimiert, was eine höhere Genauigkeit und reduzierte Dosisungleichförmigkeit ermöglicht. VARIAN VIISion 80 umfasst branchenführende Sensoren und Monitore zur Fähigkeitsprüfung, Dosissteuerung und Werkzeugüberwachung. Ein Überdosisschutzmittel (ODPS) erkennt Abweichungen in der Photonendosis und verhindert eine Überdosierung bei hochdosierten Implantationsprozessen. Darüber hinaus verfügt das Modell über In-situ-Monitore zur präzisen digitalen Steuerung von Dosis, Energie, Winkel und Zeit entlang der Strahllinie, um die Homogenität des Implantats und die Gleichmäßigkeit der Dosis zu maximieren. VIISion 80 ist auch auf Flexibilität und Skalierbarkeit ausgelegt, um zusätzliche technologische Komponenten und Änderungen am Implantationsprozess zu integrieren, ohne dass größere Steuerungsänderungen oder Reengineering erforderlich sind. Dies ermöglicht zukünftige Upgrades und Anpassungsfähigkeit, um veränderte Technologien zu erleichtern. VARIAN VIISion 80 verfügt über adaptive Elektronenkanonen-Steuerungen für optimierte Strahllinien-Leistung und gleichmäßige Dosis. Das Gerät kann auch für unterschiedliche Implantationsanforderungen konfiguriert werden, einschließlich Beam-On-Steuerung und Vakuum-Optimierung. Schließlich wird das System präzise mit benutzerdefinierten Parametern entwickelt, die auf kundenspezifische Anforderungen zugeschnitten sind. Insgesamt ist VIISion 80 eine dreiachsige Ionenimplantator- und Monitoreinheit, die zur Optimierung der Implantationsprozesse entwickelt wurde. Es verfügt über einen Hochleistungs-Zweistrahl-Implantierer, eine Überdosisschutzmaschine, In-situ-Monitore und Anpassungsfähigkeit für zukünftige Upgrades. Das Werkzeug wurde speziell für die Prozesskontrolle, Dosissteuerung und Genauigkeit für schnelle und zuverlässige Implantationsprozesse entwickelt.