Gebraucht VARIAN VIISta 3000HP #9210718 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9210718
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
Ion implanter, 8"
Main circuit breaker: 225 AMP
Maximum beam energy: 3,750 KeV
Exhaust flow rate: 21~24 m³/min
PCW:
Input: 60~ 100 PSIG 60~ 100 PSIG
Flow rate: 20 GPM
Input temperature: 16~19°C
Pressure:
N2: 55~100 PSIG
Ar: 50~100 PSIG
Air: 90~100 PSIG
Implant dose accuracy:
Dose range: 5E10 to 1E16 ions/cm²
Uniformity: 1s < 0.5%
Repeatability: 1s < 0.5% (Wafer-to-wafer, cassette-to-cassette)
Beam parallelism: < 0.5° in X & Y Axis
Ion mass resolution: M//DM > 80
Throughput: 250 wph
Wafer breakage: 1:100000
Process angles wafer tilt:
-60° to +60° Programmable in 1° steps
Accuracy: ±0.5°
-25° to +60° (Roplat)
Pumping line: Under roof
Source head type: Bernas
Wafer orientation: 0° to 360° (Programmable in 1° steps, accuracy ±2°)
Recipe-controlled stepped wafer rotation
Particulate control:
Front side: < 0.15 particles added/cm² at > 0.16mm particles
Vacuum pump:
Turbo pump: STP1003
Cryo pump 1: 250F
Cryo pump 2,3,4: 400
GAS Box:
Ar High pressure / Internal
AsH3 Cylinder type: SDS
PH3 Cylinder type: SDS
BF3 Cylinder type: SDS
Gas line purge
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Tilter type: Standard
Faraday type: Standard
Enclosure:
Signal tower
Smoke detectors
Vacuum system:
Source:
Turbo pump type: STP1003
Rough pump type: KASHIYAMA SDE 90
Beam line:
Analyzer turbo pump type: STP1003
Beamline turbo pump type: STP1003
Beam roughing pump type: KASHIYAMA SDE 90
Chamber:
Chamber hi-vac pump: Cryo pump
Cryo pump type: CTI 400
Cryo compressor type: CTI 9600
Loadlock Hi-vac pump: CTI400
Loadlock roughing pump: KASHIYAMA SDE 90
Includes manuals & drawing books
Power: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 60 A, 4/5W
2005 vintage.
VARIAN VIISta 3000HP ist ein vielseitiger, leistungsstarker Ionenimplantierer und Monitor für industrielle Anwendungen. Mit einem robusten und langlebigen Design ist es in der Lage, eine breite Palette von Implantatenergien und Festspaltparametern bereitzustellen, die eine präzise und kontrollierte Implantation einer Vielzahl von Materialien ermöglichen. VARIAN VIISTA 3000 HP verwendet eine Hochspannungsquelle, um ein Plasma aus ionisierten Partikeln zu erzeugen, die in Richtung des Probenmaterials beschleunigt werden. Die Partikelenergie und die Durchflussrate sind einstellbar, so dass der Benutzer die Implantationsenergie und -parameter genau steuern kann. Die Monitorausrüstung mit fortschrittlichen Ladungskompensationstechniken sorgt dafür, dass auch niedrige Implantatenergien genau gesteuert und geregelt werden. VIISta 3000HP verfügt über eine breite Palette von Funktionen, die eine zuverlässige und wiederholbare Implantation von Materialien für den Einsatz in Prototypen, Werkzeugen, Masken und anderen industriellen Anwendungen ermöglichen. Es verfügt über einen Implantierer mit hoher Kapazität, der große Proben und Substrate mit einstellbaren Spalt- und Druckeinstellungen aufnehmen kann. Die Steuerung ist in hohem Maße programmierbar, so dass der Benutzer auf verschiedene Weise Operationen durchführen kann, z. B. automatische oder manuelle Bedienung. VIISTA 3000 HP ist mit zwei unabhängigen digitalen 10-Kanal-Auslesungen für die Gesamtdosis- und Profilüberwachung ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Implantationsprozess während des Implantationsprozesses überwacht und gegebenenfalls eingestellt werden kann. Die Vakuumkapazität und Strahlstrom-Rückkopplungstechnik wird verwendet, um Instabilitäten im Strahl zu kompensieren, um eine konsistente Dosis und Profil zu halten. VARIAN VIISta 3000HP ist mit maximaler Sicherheit konzipiert, mit einer Ionenevakuierungseinheit, Not-Aus-Taste und Überlastschutz. Die Staubsaugermaschine sorgt für eine partikelarme Umgebung, während fortgeschrittene Anti-Fouling und Reinigungssysteme vor Verunreinigungen während des Betriebs schützen. VARIAN VIISTA 3000 HP ist ein hochzuverlässiger und reproduzierbarer Ionenimplantierer und -monitor, der sich perfekt für industrielle Anwendungen mittlerer bis hoher Stückzahlen eignet. Das robuste Design und die einstellbaren Parameter machen es zu einer idealen Wahl für genaue und präzise Implantationsprozesse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor