Gebraucht VARIAN VIISta 80 #178078 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 178078
High current ion implanter, 8"
Energy : 200eV to 80KeV
Bernas Source with 5 Gas Stick - 90D Magnet Module and Gas Box Module
Beam energy probe for D1 & D2 Module - 90 D Magnet Module and 70D Magnet Module
High Resolution 90 D analyzer magnet - 90D analyzer magnet & Rods (10EA)
70 D magnet module providing uniformity & parallelism control, plus energy filtering - 70D Analyzer Magnet Multipoles(11EA) & Upper Rods(12EA), Low Rods(12EA)
Profile Faraday to ensure uniform beam current distribution - Indirect Drive Profiler Assembly (Need to Upgarde, In-Vac Profiler or Rack and Pionion)- End Station Module
Multiple Faraday systems for beam angle measurement & real-time monitoring - Dose Cup (Samping Cup) - End Station Module
Recipe interlockable incident angle control system - End Station Module
Dual plasma flood gun system - End Station Module
Gas Box with 5 Gas Stick - Gas Box Module
CES End-Station - End Station Module
End station with orientation control 0~360 degree at +/- 1 degree accuracy - End Station Module
Tilter-C Platen - End Station Module
Precise control of tilt angle at +/- 0.1 degree accuracy - End Station Module - X tilt
N2 Gas +Water Cooled electro-static platen , with 1KW or 2.4KW Chiller - End Station Module - Excluded Chiller Assembly only.
Vertical scanning using linear servo motor driven, industrial air bearing - End Station Module
Dual 25 wafer capacity, equipped for 200mm wafer sizer operations - End Station Module
(3) CTI Cryo-Torr 8F cryo pump at process chamber - End Station Module
(2) PFEIFFER TPH2101UPC DN 250 ISO-K, 3P - Source & Beamline Turbo Pump - Included 90D Magnet Module and 70D Magnet Module each.
(2) Loadlock Turbopump - Varian 300HT and Pfeiffer - End Station Module
(2) Alcatel ADS501 Roughing Pump - Source, Edwards Roughping Pump - E/S
(2) Varian TriScroll Pump and Varian Membrane Pump - Included Tool Control Rack Module
Module Division:
Gas Box Module
Facility Module -208V, 3P, 5W, 50KVA with UPS
90D Magnet Module
70D Magnet Module
Source Control Module with Source Isolation Transformer
Tool Control rack Module
End Station Module
Parts:
90D Waveguide
70D Waveguide
Profiler Assembly
Source Dry Pump - Alcatel: ADS501
E/S Dry Pump - Edwards
Chiller Assembly (Affinity 1KW or 2.4 KW)
D.I. Water Pump Assembly with Filter
Service Monitor Assembly
(2) Compressor Assembly (9600)
(13) Door Assemblies (Right: 5EA, Left: 5EA, Rear:2EA, Inside Center: 1EA)
Door Lead Panel Assemblies
Roof Lead Panel Assemblies
Roof Beam Assemblies
Door Post Panel Assemblies (Frame)
Roof Post Panel Assemblies (Frame)
(2) CTI Cryo Pump - Excluded for cleaning the Chamber of E/S from E/S Module
(2) Gate Valve and Housing - Excluded for cleaning the Chamber of E/S from E/S Module
Lead Floor Assemblies
D2 Lens Assembly
Lelium Line
MISC Parts (miscellaneous)
Currently crated and stored in a warehouse
2000 vintage.
VARIAN VIISta 80 ist ein hochmoderner Implantierer und Monitor mit hoher Genauigkeit und breitem Strahlstrombereich für die Ionenimplantation. Dieses Gerät bietet außergewöhnliche Implantat-Gleichmäßigkeit und Dosiskontrolle. Das Produkt eignet sich für verschiedenste Produktionsumgebungen und für die anspruchsvollsten Prozesse. VIISta 80 bietet eine hervorragende Strahlstromgleichförmigkeit, einen großen Dynamikbereich und eine Abblendstromwelligkeit für eine optimale Dosisregelung. Der Strahlstrom kann von sehr niedrigen bis sehr hohen Energien mit einem großen Dynamikbereich von 1 μ A bis 200 mA eingestellt werden. Die hohe Stromauflösung von 1 nA ermöglicht eine präzise Energiekontrolle für eine verbesserte Dosisgenauigkeit. VARIAN VIISta 80 verfügt über ein hohes Maß an Flexibilität und ermöglicht verschiedene Kombinationen von strahlformenden Bauteilen. Das System ist in der Lage, sehr gleichmäßige, extrem hohe Stromimplantate mit Abblendstromwelligkeit und niedriger Energieausbreitung zu produzieren, was eine bessere Präzisionskontrolle der Implantatdosis ermöglicht. Das flexible Gerätedesign ermöglicht auch eine einfache Anpassung der Strahlkollimation und Profiloptimierung. VIISta 80 verwendet eine digitale, rückgekoppelte Steuerungsmaschine, um die optimale Strahlstromgenauigkeit und Stabilität zu erhalten. Dieses Tool überwacht und regelt den Strahlstrom kontinuierlich basierend auf der Eingabe von einem externen Ionenimplantatmonitor. Dieses Asset ermöglicht auch Diagnose, Feinabstimmung und automatische Fehlererkennung. VARIAN VIISta 80 kombiniert die neuesten Fortschritte bei der Ionenimplantation mit fortschrittlicher Elektronik und einem ausgereiften, bewährten Softwarepaket. Das Softwarepaket bietet einen umfassenden Funktionsumfang, einschließlich Versuchsaufbau, Probenanalyse und Datenerfassung sowie Regelparameter für Strahlstrom- und Dosissteuerung und Präzisionsspannungseinstellung. Insgesamt ist VIISta 80 eine leistungsfähige und zuverlässige Plattform für Forschungs- und Produktionsimplantationsprozesse. Das Modell verfügt über eine ausgezeichnete Strahlstromgleichförmigkeit, einen großen Dynamikbereich und eine ausgezeichnete Stromwelligkeit sowie ein hohes Maß an Flexibilität, die kundenspezifische Implantationsprofile ermöglichen. Das Produkt verfügt auch über eine fortschrittliche Feedback-Kontrollausrüstung und eine ausgeklügelte Software für maximale Genauigkeit, Stabilität und Präzision.
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