Gebraucht VARIAN VIISta 80 #9262465 zu verkaufen
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VARIAN VIISta 80 ist eine fortschrittliche Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Branchen entwickelt wurde, einschließlich der Mikroelektronik und Halbleitersektoren. Das System produziert konsequent kostengünstig hochgleichmäßige und zuverlässige Ionenimplantationen. VIISta 80 verfügt über eine vierachsige, hochauflösende Bewegungssteuerung zur präzisen und präzisen Manipulation von Ionenquelle und Substrat. Dies ermöglicht einen Feldwechsel zwischen den unterschiedlichsten Energiebereichen und ermöglicht die Anpassung jedes Implantats an den jeweiligen Bedarf eines bestimmten Materials. So eignen sich Niederenergie-Implantate hervorragend für die Implantation in 4H-SiC, Hochenergie-Implantate für Halbleiter. Die Ionenquelle von VARIAN VIISta 80 ist eine Dual-Anodenmaschine mit Ar/O2 oder Xe/O2 Chemie und kann bis zu 60kHz laufen, um sehr schnelle Durchsätze zu erzielen. Das Tool verfügt über DC-Netzteile, die bis zur gewünschten Implantatenergie vorgespannt werden können - jede Energie bis zu zweitausend Volt kann erreicht werden. Darüber hinaus verfügt VIISta 80 über eine hochpräzise Strahlmodulation, mit der das Implantat mit hervorragender Präzision auf die Größe des Substrats abgestimmt werden kann. VARIAN VIISta 80 ist auch mit Prozessüberwachungs- und Kontrollsystemen ausgestattet, die die Genauigkeit und Wiederholbarkeit eines Implantats gewährleisten. Dazu gehören Echtzeit-Partikelzählung, Echtzeit-Artanalyse, computergesteuerte Kontrolle der Ende-des-Bereichs-Dosis und Echtzeit-Verfolgung der Ende-des-Bereichs-Dosis. Darüber hinaus ist das Asset so konzipiert, dass es vollständige Prozessaudit und Diagnoseberichte durchführt, sodass alle notwendigen Korrekturen schnell und einfach vorgenommen werden können. Insgesamt ist VIISta 80 ein fortschrittliches Ionenimplantat- und Monitormodell, das konsistent präzise, einheitliche und zuverlässige Implantate kostengünstig liefert. Durch den Einsatz modernster Technologien in Monitor- und Steuerungssystemen arbeitet VARIAN VIISta 80 sicher und zuverlässig in einer Vielzahl von Anwendungen, von der allgemeinen Halbleiterherstellung bis hin zu Luft- und Raumfahrt- und Automobilteilen.
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