Gebraucht VARIAN VIISta 810 HP #9093342 zu verkaufen

VARIAN VIISta 810 HP ist eine Hochleistungs-Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung, die von VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. Die Maschine wurde entwickelt, um die Anforderungen des fortschrittlichsten Halbleiterherstellungsprozesses zu erfüllen und eine höhere Präzision und Leistung bei der Implantation von Ionen zu ermöglichen. Das System verfügt über eine hybride Architektur, die ein Hochspannungs-Gleichstrom (DC) -Ionenquellengerät mit einem integrierten Wafer-Rekonstitutor kombiniert. Der Rekonstitutor sorgt für eine konstante und konstante Qualität der implantierten Ionen und ermöglicht die genaue Kontrolle der Dosis der in den Wafer implantierten Ionen. Die Ionenquelleneinrichtung enthält auch eine Abschirmung sowohl der Quelle als auch des Implantatbereichs, so dass zuverlässige und sichere Operationen möglich sind. VARIAN VIISTA 810HP verfügt über ein großes, leicht lesbares digitales Display, das wesentliche Informationen liefert, einschließlich Implantatdosis und Spezies, Druck, Betriebsparameter und Einheitenstatus. Es verfügt außerdem über eine automatische Kalibrierungsfunktion, die die Präzision der Implantation optimiert und sicherstellt, dass die Verteilung von Ionen im Wafer kontinuierlich überwacht und innerhalb bestimmter Toleranzen gehalten wird. Die Maschine umfasst eine Reihe von Ionenquellen, darunter den hocheffizienten Ionenstrahlgenerator, eine substratgestützte DC-Ionenquelle und eine Hochspannungs-leistungsstarke Ionenstrahlquelle. Die Strahlquelle ermöglicht eine drastisch verbesserte Genauigkeit und Auflösung sowie höhere Dosen und viel geringeren Strahlverlust als bisher. Das Tool verfügt außerdem über eine Reihe leistungsstarker Diagnosetools auf Asset-Ebene. Dazu gehören ein integriertes optisches Strahldatenmodell, das die Analyse und Anzeige von optischen Parametern mit mehreren Strahlen ermöglicht, und eine Ausrüstung zur Fehlererkennung und -isolierung (FDI), die Fehler im Betrieb des Systems identifiziert und isoliert. Die Diagnoseergebnisse werden als zukünftige Referenz in einem sicheren digitalen Speicher gespeichert und liefern wertvolle Daten für die Maschinenpflege und -entwicklung. VIISta 810 HP gehört zu den fortschrittlichsten Ionenimplantationslösungen auf dem Markt und bietet eine Kombination aus Präzision, Leistung und Sicherheit. Durch die Gewährleistung einer gleichbleibenden, qualitativ hochwertigen Implantation trägt sie dazu bei, den Ertrag zu maximieren und Kosten zu senken. Es ist kompakt und sehr zuverlässig und robust, was es zu einer idealen Wahl für moderne Halbleiterherstellungsprozesse macht.