Gebraucht VARIAN Viista 810 #62638 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 62638
Medium current ion implanter, 8"
CE Marked
Energy Range: 5 – 810 keV
Dose Range: 1xe11 – 1xe16
Programmable Tilt Angle: +/- 60deg
Source Type: IHC Source Tungsten
Cassette Interface:
2 Bolt-On Asyst LPT-2200
PRI Robot Handler
Chuck Type: Gas Cooled ESC (Composite Platen)
Options:
Low Energy upgrade
Thru Beam Wafer Mapping system
DELL Server (IAN)
VESDA Smoke Detector system (Laser Plus)
GEM / SECS
Std Network Comm. Capability
End Station Cryo Pumps:
Process Chamber: 3 Brooks/Helix OB-250F
Scan Chamber: Brooks/Helix OB-250F
Turbo Pumps:
Source Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP without Gate Valve Service PC
Beam Line Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP
Left Load-Lock: Pfeiffer TPH 521 YP
Right Load-Lock: Varian V300C
Gas Configuration:
AsH3 - SDS
PH3 - SDS
BF3 - SDS
Ar (N2) - HP
XE (N2) - HP
Software:
NCS / IAN: Win2k pro
VCS: v 6.70 SP3
V 208, 3-Phase, Freq 50Hz
2001 vintage.
VARIAN Viista 810 ist ein integrierter Ionenimplantator und Monitor. Die Viista 810 wurde von den führenden Anbietern der Ionenimplantattechnologie VARIAN entwickelt und verfügt über mehr als 60 Jahre Erfahrung in diesem hochspezialisierten Sektor und bietet verbesserte Fähigkeiten im kritischen Bereich der Ionenimplantation und -überwachung. Im Kern ist der 810 ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer. Es ist in der Lage, mehrere Arten und Energien mit außergewöhnlicher Präzision in einer breiten Palette von Materialien zu implantieren, wodurch ein signifikant höherer Durchsatz als je zuvor. Durch den Einsatz hochfokussierter Strahlen, beschleunigter Spannungen und fortschrittlicher Optik bietet die 810 im Vergleich zu anderen Maschinen auf dem Markt eine höhere Steuerungs- und Genauigkeitsspanne. Zusätzlich kann die 810 bis zu 40 Ionen pro Sekunde bei einer Gesamtstromlast von bis zu 400 Milliampere implantieren. Wo VARIAN Viista 810 jedoch wirklich herausragend ist, ist seine beeindruckende Überwachungsfunktion. Diese Maschine verwendet einen in-situ Strahl optische Emissionsspektroskopie (IOES) Sensor, um die Energie von Ionen und anderen Strahlcharakteristika mit Echtzeitleistung zu messen. Mit dieser Steuerung kann VARIAN einen fortschrittlichen Steuerungsalgorithmus entwickeln und implementieren, der die Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit der Implantatschicht gewährleistet. Darüber hinaus verfügt der 810 über ein hochmodernes Höhenregelsystem. Durch die Verlängerung der maximalen Beschleunigungsspannung auf bis zu 30 kV garantiert Viista 810 eine konstante Strahlwinkelregelung, die eine höhere Genauigkeit bei Drehverfolgung - auch bei hohen Neigungswinkeln - ermöglicht. Dieses hochmoderne System bietet auch erhöhte Sicherheit bei der Implantation mit Selbstabschaltung, wenn gefährliche Strahlbedingungen erkannt werden. Dies trägt dazu bei, das Risiko menschlicher Fehler zu reduzieren und die Produktionseffizienz und -qualität deutlich zu verbessern. Zusammenfassend ist VARIAN Viista 810 ein integrierter Ionenimplantator und Monitor, der im Vergleich zu anderen Modellen auf dem Markt eine verbesserte Kontrolle und Präzision bietet. Es bietet ein beispielloses Niveau der Kontrolle mit seinem in - situ Balken optischer Emissionsspektroskopiensensor und seine Autoabsperrvorrichtungssicherheitseigenschaft an, die schließlich hilft, das Risiko von menschlichen Fehlern während Implantationen zu reduzieren.
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