Gebraucht VARIAN Viista 810 #9012362 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9012362
Medium current ion implanter
8" and 12" bridge capable
Software version: 7.1
Power distribution: 60 Hz
End station:
Single wafer processing
Integral orientation control
±60° 2-axis
Programmable in 1° steps
Accuracy: ±0.5°
Orientation: 0 to 360° at ±1° accuracy
Rotation: equivalent multi-tilt
Quad mode
No buffer station
No FOUP or small WIP buffer
Cryopumps: CTI 250F, (chamber), P1, P2, P3, no P5
Cryopumps 2: CTI 250F, (beamline), P4
Cryopumps 3: CTI 250F, (corrector magnet), no P6
Venturi pump for air-bearing differential seals, stage 3: Vaccubrand MZ 2T Diaphragm
Roughing pump: Edwards XDS35i
Roughing pump 2: Alcatel ADP 122P
Roughing pump 3: Alcatel ADP 122L
TMP: (1) Pfeiffer TMH-261, (1) Varian V300HT turbo molecular pump for end station load locks
TMP 2: Pfeiffer TMH 521 for the source (P1)
TMP 3: Pfeiffer TMH 521 pump for the beamline
Pump remote kit: 15 m cable length (for cryo-compressors, dry pumps and DI water system)
Gasbox 1: Ar HP UNIT 1660
Gasbox 2: BF3 HP UNIT 1660
Gasbox 3: AsH3 SDS UNIT 1662
Gasbox 4: Ph3 SDS UNIT 1662
Gasbox 5: none
Gasbox 6: none
Gas card configuration:
Machine: IMMC1C3000
Bottle 1: SDS As
Size: 10X
Bottle 2: SDS Phos
Size: 10X
Bottle 3: BF3
Size: 10X
Bottle 4: Ar
Size: 10X
Bottle 5: Xenon
Size: 7X
Gas / DISS/CGA / Torque / Head Size / Head Stamp
Argon / diss 718 / 12 lbs / 1 3/8 in / non
Sds phos / .5 in vcr / 35 lbs / 1 in / sds
Hp phos / diss 632 / 35 lbs / 1 1/4 in / tox
Sds arsine / .5 in vcr / 35 lbs / 1 in / sds
Hp arsine / diss 718 / 35 lbs / 1 1/4 in / tox
Bf3 / diss 642 / 12 lbs / 1 1/4 in / tox
Enriched boron / cga 330 / 25 lbs / 1 1/8 in / ben
Xenon / cga 180 / 12 lbs / 3/4 in / xen
Co2 / cga 180 / 12 lbs / 3/4 in / xen
Xenon / cga 580 / 47 lbs / 1 1/4 in / xen.
VARIAN Vista 810 ist ein hochmoderner zylindrischer Ionenimplantator und Monitor. In der Lage, bis zu 45 Ampere konstanten Stroms zu implantieren, ist es ein unschätzbares Werkzeug für die Suboberflächenimplantation und Ioneneinflussüberwachung. Das Gerät arbeitet in zwei Modi: gepulst mit bis zu 5 kHz Frequenz und konstantem Strom mit bis zu 0,5 Hz Frequenz. Für eine optimale Ausnutzung sind die Spannungen, Energien, Wellenformen und Pulsdauern einstellbar, was Vielseitigkeit in der Art der durchgeführten Implantation ermöglicht. Der Vista 810 ist mit Sicherheit gebaut. Mit seinem vakuumgeschützten Kammer- und Überladesteuerungssystem entspricht das Gerät sowohl den Industrie- als auch den Sicherheitsstandards. Weitere Funktionen umfassen ein programmierbares Zugangsbedienfeld, um den Zugriff auf ausgewählte Bereiche des Geräts zu beschränken, und einen integrierten Notabschalter. Das Vista 810 verfügt über ein intuitives 15-Zoll-LCD-Touchscreen-Bedienfeld. Die einfach zu bedienende Steuerung sowie umfassende Datenerfassung und Software ermöglichen es Anwendern, alle Implantationsparameter in Echtzeit zu überwachen. Der Bildschirm selbst hat eine eingebaute Diagnosefunktion und eine Vielzahl von Auslesungen, die Zeit verstrichen anzeigen, Spitzenspannung/Strom angelegt, Gesamtdosis angewendet, Probentemperatur und mehr. Die Implantationsanwendung des Vista 810 ist unglaublich vielseitig. Die Modulationsamplitude und Abhebetiefe des Implantats kann für jedes Implantat eingestellt werden. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Flexibilität in Implantationstiefen. Mit einer einstellbaren Implantatgröße und Ladung kann das Gerät eine breite Palette von Oberflächenimplantaten abdecken. Der Vista 810 kann beide simultane Implantatanwendungen überwachen und so ein Echtzeitbild sowohl von Implantationsparametern als auch von implantierten Ladungen liefern. Mit seiner großen Auswahl an Implantationsparametern kann das Gerät eine Vielzahl von Implantationen in verschiedenen Halbleitermaterialien durchführen. Darüber hinaus können die Ergebnisse der Implantation zur zukünftigen Referenz gespeichert werden. VARIAN Vista 810 ist ein unglaublich leistungsstarker Ionenimplantator und Monitor. Es deckt nicht nur eine Reihe von Implantatanwendungen ab, sondern macht seine intuitive Benutzeroberfläche sowie seine umfassende Datenerfassung und Software zu einer idealen Wahl für Ingenieure und Techniker gleichermaßen.
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