Gebraucht VARIAN Viista 810 #9411062 zu verkaufen

VARIAN Vista 810 ist eine hochzuverlässige, fortschrittliche Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung, die einer Vielzahl von Prozessanforderungen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen gewidmet ist. Es verfügt über eine vollständig anpassbare Lösung mit einem hohen Grad an Prozessflexibilität, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Beim Prototyping ermöglicht Vista 810 eine schnelle und zuverlässige Charakterisierung und Integration komplexer Prozesse zur Unterstützung des vollständigen Produktqualifizierungsflusses. Es basiert auf der bekannten VARIAN Typ 810 Architektur, die im Laufe der Jahre getestet und bewiesen wurde; intuitive Benutzeroberfläche und intuitive grafische Werkzeuge ermöglichen eine einfache Bedienung und Wartung. Die Vista 810 verfügt über zwei Arten von Ionenimplantatoren; der traditionelle Mittelstrom-Implantierer, allgemein als DC-Implantierer bezeichnet, und der fortgeschrittene Hochstrom-Implantierer, auch als AC-Implantierer bekannt. Die Mittelstrom-Implantate haben eine Standardauflösung von 0,1 μ m, die mit optionalen bildkorrigierenden Komponenten modifiziert werden kann. Die Fähigkeit, Dotierungsprofile präzise zu steuern, wird durch die patentierte magnetische Septum-Technologie unterstützt. Der Vista 810 ermöglicht die höchste Ionengleichförmigkeit der Klasse, die in jedem Implantationssystem verfügbar ist. Der fortschrittliche Hochstrom-Implantierer bietet maximale Flexibilität durch einen kleinen Strahl, der auf eine große Fläche fokussiert ist, um große Substrate zu implantieren. Es bietet auch eine enge Prozesssteuerung, was zu schnellen Zykluszeiten und präziser Ionengleichförmigkeit über das gesamte Substrat führt. Die Acht-Zonen-Strahleinheit sorgt für eine schnelle und genaue Strahlverfolgung für eine effiziente Implantation. Das Vista 810 kommt auch mit einem fortschrittlichen ADIStab Monitor und Stimulator Maschine, die gleichzeitig erfasst und formt Einflüsse aus der Prozessumgebung. Das Tool ist in der Lage, unbeabsichtigte Prozessvariablen durch präzise, zeit- und energieneutrale Überwachungs- und Reizfunktionen zu erfassen und zu steuern und bietet eine präzise und zuverlässige Prozesssteuerung. Die Anlage ist für eine präzise und effiziente Implantation in Halbleiterherstellungsprozessen konzipiert und verfügt über eine Vielzahl von Prozessen, Steuerungen und Analysewerkzeugen für einen präzisen Betrieb. Das Modell bietet außerdem eine Prozesssicherheitsüberwachung, die sicherstellt, dass die richtige Kombination von Parametern beibehalten wird, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Der Vista 810 dient als zuverlässiges Werkzeug zur Simulation, Analyse und Optimierung von Implantatprozessen und liefert präzise und präzise Ergebnisse mit kompromissloser Zuverlässigkeit.