Gebraucht VARIAN VIISta 810EHP #9096214 zu verkaufen

VARIAN VIISta 810EHP ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor für die weltweit fortschrittlichsten Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen. Das 810EHP kombiniert hohe Produktivität und Präzision mit den neuesten MEMS, SOI und fortschrittlichen CMOS-Technologien. Das 810EHP bietet eine vollautomatische „Closed Loop Implantation“ -Ausrüstung, die es Anwendern ermöglicht, den Implantatprozess aktiv zu überwachen und zu steuern, um die Genauigkeit und Produktionskonsistenz zu erhöhen. Das System ist in der Lage, die Strahlenergie und -dosis schnell anzupassen, wodurch Benutzer mehr Kontrolle über Implantateigenschaften wie Bahnlänge, Seitenwandwinkel und Dotierstoffprofil erhalten. Das 810EHP verfügt über eine ausgeklügelte, mehrzonige, einmagnetische Stromversorgung und einen hocheffizienten Strahlscanner, der eine präzise Implantatsteuerung ermöglicht. Der Acht-Zonen-Scanner gibt dem Gerät zusätzliche Geschwindigkeit und Flexibilität. Das 810EHP verfügt außerdem über erweiterte Echtzeit-Analysefunktionen, mit denen Anwender die Stabilität und Dosis des Strahls während des Implantats anpassen können. Der integrierte, hochauflösende digitale Schlitzabbildungsgenerator ermöglicht es dem Bediener, den Implantatwinkel während der Implantation zu überwachen und zu steuern, was für die Erzielung der gewünschten Dotierstoffprofile wichtig ist. Das 810EHP ist in der Lage, ein konsistentes, präzises und wiederholbares Implantatprofil mit einer gleichmäßigen Dosis zu erzeugen. Das 810EHP ist auf die anspruchsvollen Anforderungen der Hochgeschwindigkeitsproduktion ausgelegt. Es verfügt über eine leistungsstarke, leise Kühlmaschine und ein Hochleistungsnetzteil mit langfristiger Betriebsstabilität für hohe Temperatur- und Arbeitszyklen. Das 810EHP ist außerdem mit einer robusten 11-Positions-Waferkassette, einem zuverlässigen Be-/Entlademechanismus und einer einstellbaren Kassettengeschwindigkeit für einen schnelleren Durchsatz ausgestattet. Das 810EHP ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor mit erhöhter Genauigkeit, Produktionskonsistenz und Kontrolle für fortschrittliche Fertigungsprozesse von Halbleiterbauelementen. Die integrierte, mehrzonige Stromversorgung und der fortschrittliche digitale Spaltbildgebungsgenerator sorgen für Präzision, Stabilität und Wiederholbarkeit. Das 810EHP ist für die Hochleistungsproduktion konzipiert, mit einem leistungsstarken, leisen Kühlwerkzeug und einer Hochleistungsstromversorgung, einer bequemen Waferkassette und einem schnellen Lade-/Entlademechanismus für einen schnelleren Durchsatz.