Gebraucht VARIAN VIISTa 810XP #9111183 zu verkaufen

VARIAN VIISTa 810XP ist ein Ionenimplantator und -monitor zur Herstellung von Halbleitern. Es verwendet einen Ionenstrahl, um selektiv Verunreinigungen von der Waferoberfläche zu entfernen oder abzuscheiden, um ihre elektrischen Eigenschaften zu ändern. Der Implantierer bietet auch Messsensoren, Diagnosesysteme und Trägheitsmesseinheiten (IMUs) .VARIAN VIISTA 810 XP wurde entwickelt, um eine breite Palette von Operationen zu bewältigen, einschließlich Oberflächenanalyse, Implantation und Messaktivitäten. Das Quellleistungsgerät des 810XP kann bis zu 30kV, 5A und bis zu 7200Amin ohne Heizungsauslöser auslösen, wodurch hohe Energiedichten und einstellbare Impulsbreiten erzielt werden können. Die Ionenquelle besteht aus einer linearen Ionenquelle, einem Ionenextraktionsgitter und einem ionenoptischen System, mit dem Ionen über die Waferoberfläche fokussiert und gescannt werden können. Der Implantierer umfasst auch eine Strahlüberwachungseinheit zur Echtzeitsteuerung des Partikelstrahls. VIISTa 810XP kann mit einer Reihe von Programmen ausgestattet werden, einschließlich Implantattemperaturregelung, Spot, Sektor, Linie und Polygon-Modi, sowie vorbestimmte Pfade, die Anwendern höchste Durchsatz und Präzision bieten. Zusätzlich enthält die Maschine eine Dünnschichtabscheidekammer, die dünne Filme auf Wafern abscheiden kann. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Verunreinigungen für Geräteabstimmung und Schichttechnik hinzuzufügen oder zu entfernen. Um VIISTA 810 XP zu betreiben, kann der Benutzer entweder eine eigene proprietäre Software oder eine VARIAN WinNT-basierte Windows 2000-kompatible Software verwenden. Die Software wurde entwickelt, um grafische Echtzeit-Anzeigen der implantierten Funktion, Dosis, Energie und Reichweite sowie eine Datenbank bereitzustellen, die genaue Daten speichert, die für die spätere Wiederholung eines Implantats erforderlich sind. VARIAN VIISTa 810XP ist ein hochpräziser Implantierer und Monitor, geeignet für den Einsatz in einer Vielzahl von Fertigungsumgebungen. Es bietet eine ausgezeichnete Strahlkontrolle und Genauigkeit sowie eine Reihe von Funktionen, die für den höchsten Durchsatz und die höchste Präzision entwickelt wurden. Die Ionenquelle erzeugt einen Hochleistungsstrahl und ist in der Lage, die Pulsbreiten und Energiedichten einzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die Dünnschichtabscheidekammer eine präzise Schichttechnik und Waferabstimmung. Die WinNT-basierte Windows 2000-kompatible Software bietet grafische Echtzeit-Anzeigen und eine Datenbank zum Speichern von Implantatdaten. Damit ist VARIAN VIISTA 810 XP eine ideale Ergänzung zu jeder Halbleiterherstellungsanlage.