Gebraucht VARIAN VIISTa 810XP #9111187 zu verkaufen

VARIAN VIISTa 810XP ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor für eine Vielzahl von Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen. Diese fortschrittliche Ausrüstung ist in der Lage, sowohl Einzel- als auch Doppelfass-Konfigurationen für RIB (Razor Edge Ion Implanter Beam) und AVS-Ion (Atomized Vacuum Spout Ion) Anwendungen zu handhaben. Es ist in der Lage, hohe Dosisraten, kritische Genauigkeit und unübertroffenen Durchsatz zu erreichen. Es ist auch mit einer intelligenten Strahlsteuerung ausgestattet, die Strahlströme genau auf die Anforderungen einstellt. VARIAN VIISTA 810 XP verfügt über eine Reihe einzigartiger Funktionen, die es zur idealen Lösung für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen machen. Seine Ionenquelle arbeitet in einer UHV-Umgebung, die es ermöglicht, sehr hohe Auflösungen zu erreichen. Seine Quelle beschleunigt Ionen auf hohe Energien und Leistungen im Bereich von 30 bis 140 keV für eine Vielzahl von verschiedenen Arten wie Silizium, Siliziumborid, Bor, Arsen, Phosphor und Neon. Es hat eine gute mechanische Konstruktion, die eine gasarme Staubkammer erzeugt, die auch hilft, Leistungsverluste und Strahlstreuung zu reduzieren. VIISTa 810XP verfügt auch über ein Konfigurationssteuerungs-Subsystem, mit dem ein hohes Maß an Prozesssteuerung und Strahlqualität aufrechterhalten werden kann. Diese Einheit besteht aus einer Vakuummaschinensteuerung, die an mehrere Hostsysteme angeschlossen werden kann, sowie einem integrierten Berichtsgenerator, der eine Echtzeitdatenanalyse und vordefinierte Berichte bereitstellt. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine Reihe von Alarmen und Diagnosen, die sowohl prädiktive als auch korrektive Wartungsfunktionen umfassen. VIISTA 810 XP kann auch für Trimm- und Tiefenprofilerstellungsprozesse konfiguriert werden. Es ist mit einer Mehrzonenquelle ausgestattet, die eine Implantation, Bereichsanpassung und simultane Profilierung nach benutzerdefinierten Parametern ermöglicht. Das Asset verfügt außerdem über ein hochgenaues Shooter- und Energiesteuerungsmodul, das die Implantatmanipulation einfach macht. Schließlich sorgt der rauscharme Niederenergieverstärker dafür, dass die Strahlleistung exakt eingestellt werden kann, ohne akustisches Rauschen zu erzeugen. Insgesamt ist VARIAN VIISTa 810XP ein hochentwickelter Ionenimplantator und Monitor, der sehr stabile Prozesse und eine hervorragende Strahlqualität bietet. Es ist ideal für eine breite Palette von Halbleiterverarbeitungs- und Fertigungsanwendungen. Es ist einfach zu konfigurieren und verfügt über die notwendigen Werkzeuge, um ein hohes Maß an Prozesskontrolle zu überwachen und aufrechtzuerhalten.