Gebraucht BALZERS / BPS Cyberite #9363567 zu verkaufen

Hersteller
BALZERS / BPS
Modell
Cyberite
ID: 9363567
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1999
Ion Beam Deposition (IBD) system, 5" (2) Chambers (6) Targets BROOKS Robot cluster handling CTI-CRYOGENIC On-Board pumps 1999 vintage.
Ein BALZERS/BPS Cyberite ist eine Ionenfräsanlage zur Herstellung von Mikrostrukturen zu Oberflächen. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Nanofabrikation, das das Ätzen von Metallen, Keramiken und polymeren Materialien ermöglicht. Das System basiert auf einer Vakuumkammer mit zwei großen Elektronenkanonen an beiden Enden und einer Plasmaquelle in der Mitte. Die Kathodengewehre erzeugen einen Ionenstrahl, der über die Oberfläche der Probe abtastet und die Freisetzung von Energie aus dem Probenmaterial in Form von Ionen bewirkt. Die Plasmaquelle beschleunigt und lenkt den Ionenstrahl weiter, was eine kontrollierte Modifikation der Oberfläche ermöglicht. Der Ionenstrahl bewirkt auch eine physikalische Ätzung der Probenoberfläche, die durch die Zugabe von Gas in die Kammer unterstützt und über die Rechnerschnittstelle der Einheit gesteuert wird. Die Probe ist auf einem Montagearm montiert, der so eingestellt werden kann, dass er die Probe relativ zum Ionenstrahl genau positioniert. Die Maschine ist in der Lage Ionenfräsen bei Fräsraten von 50 nm/min bis zu 5 μ m/min und kann verwendet werden, um Merkmale mit einer Mindestbreite von 0,5 nm zu schaffen. BPS Cyberite ist mit einem Präzisions-Vision-Tool zur Echtzeit-Abbildung der Oberflächen integriert, die durch den Ionenstrahl modifiziert werden. Dieses bildgebende Element ist für Niederspannungsbetrieb ausgelegt und kann Funktionsgrößen bis zu 0,1 nm erkennen. Dieses Merkmal eignet sich insbesondere zur quantitativen Abbildung von Merkmalen, die zur Beurteilung der Wirksamkeit des Ionenmahlprozesses verwendet werden können. Das Modell ist auch mit einer automatisierten Probentransportausrüstung zum Be- und Entladen von Proben ausgestattet. Dieses Transportsystem besteht aus einer Reihe von Förderbändern, die den Transfer von Proben aus dem Labor in die Ionenstrahlkammer sowie die Entnahme von gefrästen Proben ermöglichen. Diese Transporteinheit dient auch dazu, Proben zwischen der Frässtufe und einer externen Analysemaschine, wie einem Rasterelektronenmikroskop, zu pendeln. Um eine sichere und saubere Arbeitsumgebung zu gewährleisten, verfügt BALZERS Cyberite über ein integriertes Tool zur Gasminderung. Die Anlage umfasst Luftreinigungs- und Ionisierungssysteme, um sicherzustellen, dass die Ionenstrahlkammer und ihre Umgebung frei von toxischen Gasspuren bleiben. Dadurch kann der Ionenfräsprozess in einer sicheren und kontrollierten Umgebung durchgeführt werden. Insgesamt ist Cyberite ein fortschrittliches Ionenfräsmodell mit einer breiten Palette von Funktionen. Es ist nützlich für die Schaffung komplexer Nanostrukturen und es kann verwendet werden, um Oberflächen mit einer minimalen Merkmalsgröße von 0,5 nm herzustellen. Die automatisierte Transportausrüstung und das Vision-System machen es zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Ingenieuranwendungen.
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