Gebraucht FEI DualBeam 820 #9215632 zu verkaufen
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ID: 9215632
Focused Ion Beam (FIB) system
FEG Source electron column
Pre-lens ion column
Stage and loadlock, 8"
(2) Gas injectors
PC.
FEI DualBeam 820 ist eine fortschrittliche Ionenfräsausrüstung für die Hochleistungsvorbereitung von Materialoberflächen. Das System ist in der Lage, präzise Ionenfräsen einer breiten Palette von Materialoberflächen einschließlich spröder, schwer zu bearbeitende Oberflächen wie Keramik, Metalllegierungen und Glas. DualBeam 820 verwendet Ga-Bildgebung und Gallium-Ionenstrahl-Abscheidung mit breiter Reichweite, um Merkmale des Fräsens zu erreichen, die auf der Skala von Nanometern liegen. Dies ermöglicht eine enge, präzise Ablation bei der Bearbeitung empfindlicher Oberflächen. Diese Einheit verwendet einen stationären Substrathalter, um eine zuverlässige Handhabung von Materialoberflächen beim Fräsen zu gewährleisten. Der Halter ist für eine leichtere Navigation des Ionenstrahls und der Gelenkstufen drehbar, um eine präzise Funktion zu gewährleisten. Diese fortschrittliche Halterkonstruktion gewährleistet hochpräzise Fräsergebnisse auch bei der Handhabung empfindlicher Proben. Die Maschine ist auch in einer Vakuumkammer eingeschlossen, um die Auswirkungen der Schmutzexpansion und Umweltverschmutzung während des Betriebs zu minimieren. FEI DualBeam 820 ist eines der wenigen fortschrittlichen Ionenfrässysteme, die sowohl für planare als auch für profilierte Fräsoperationen verwendet werden können. Beim Planar-Fräsen ermöglicht eine präzise 3-Achsen-Motorstufe eine gleichmäßige Ablation und genaue Geschwindigkeitseinstellung. Die profilierte Fräsfähigkeit ermöglicht eine kontrollierte Steuerung des Ionenstrahls, um komplexe Merkmale und Tiefen zu formen. Zusätzlich steht ein unabhängiges Strahlablenkwerkzeug zur Verfügung, um verschiedene Arten von Fräsbedürfnissen zu erfüllen. DualBeam 820 verfügt über zwei unabhängig voneinander betriebene Ionenstrahlquellen sowohl für die Ga-Bildgebung als auch für die Galliumionenstrahlabscheidung. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung und Optimierung für unterschiedliche Fräsvorgänge. Die Ga Imaging-Anlage ist in der Lage, die Topographie empfindlicher Oberflächen und Merkmale zu erfassen, um Schäden oder Kontaminationen zu erkennen. Der Galliumionenstrahl ermöglicht einen hochpräzisen Ablationsprozess, um komplizierte KEs auf der Materialoberfläche zu erzeugen. FEI DualBeam 820 kann mit vielen verschiedenen Materialien verwendet werden, darunter Metalle, Glas, Keramik und Verbundwerkstoffe. Darüber hinaus bietet es eine umfassende Palette von Fräsprozesssteuerungen und Überwachungsfunktionen für eine umfassende Prozessvalidierung und -überwachung. Darüber hinaus ermöglicht die erweiterte Software-Suite von FEI die einfache Überwachung der Fräsaktivität für ein individuelleres Fräserlebnis. Insgesamt ist DualBeam 820 ein fortschrittliches Ionenfräsmodell, das für das genaue Fräsen von Materialoberflächen entwickelt wurde. Das Gerät ist in einer Vakuumkammer eingeschlossen und umfasst einen Schreibwaren-Substrathalter, eine präzise 3-Achsen-Stufe, ein Strahlablenksystem mit unabhängig betätigten Strahlen und eine umfassende Software-Suite für umfassendes Fräsen und Überwachen. Das Gerät ist effizient, um komplizierte Funktionen mit großer Präzision und Geschwindigkeit zu schaffen.
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